CIF掃描電鏡等離子清洗機
CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機采用雙等離子清洗源設(shè)計，自動切換，一機多用，清洗快速高效、低等離子體轟擊損傷，核心部件采用品牌，保證設(shè)備優(yōu)異的質(zhì)量和穩(wěn)定性。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?/span>
產(chǎn)品特點
雙等離子清洗源
原位清洗
快速高效
即插即用
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號 | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40 |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 兩種等離子體清洗源，原位等離子源和遠(yuǎn)程等離子源，自動匹配器 |
13.56MHz等離子RF電源，5-100W可調(diào) | |
氣體控制 | 標(biāo)配MFC流量計（N2）/1只 |
真空互鎖 | 采用美國MKS數(shù)字真空計，和電磁閥安全互鎖 |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
控制方式 | 7寸全彩觸摸屏控制，互動操作界面 |
質(zhì)量保證 | 二年免費，終身維護 |
電源/功率 | 220V，50/60Hz，200W |
可選配件 | 制氫（氧）機200SCCM，MFC流量計50SCCM（H2、O2、Ar） |
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