CIF-TEM-透射電鏡樣品桿清洗機(jī)
2025-08-16
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CIF透射電鏡樣品桿清洗機(jī)
CIF透射電鏡（TEM）樣品桿清洗機(jī)采用雙等離子清洗源設(shè)計(jì)，自動(dòng)切換，一機(jī)多用，清洗快速高效、低等離子體轟擊損傷，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。核心部件采用品牌，保證設(shè)備優(yōu)異的質(zhì)量和穩(wěn)定性。主要用于TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏用途。
產(chǎn)品特點(diǎn)
雙等離子清洗源
遠(yuǎn)程清洗、檢漏兩用
快速高效
即插即用
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) | CIF-TEM |
真空泵 | Agilent 、IDP-3渦輪式真空干泵 |
大入口壓力1.0個(gè)大氣壓（0psig），大出口壓力1.4個(gè)大氣壓（6.5psig） | |
抽速60L/min，極限真空3.3 x 10-1 mbar | |
KF16入口接口 | |
等離子電源 | 兩種等離子體清洗源，原位等離子源和遠(yuǎn)程等離子源，自動(dòng)匹配器 |
13.56MHz等離子RF電源，5-100W可調(diào) | |
清洗室 | 清洗室尺寸(長(zhǎng)X寬X高)150X150X150mm |
多可放置3路TEM hoder，可清洗FEI、JOEL等TEM品牌樣品桿 | |
氣體控制 | 美國(guó)MKS數(shù)字真空計(jì) |
兩路清洗氣體控制，可以外接如Ar或O2等清洗氣體 | |
控制方式 | 7寸全彩觸摸屏操控方式，人機(jī)互動(dòng)界面 |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
電源 | 電源220V、50/60Hz |
質(zhì)量保證 | 二年免費(fèi)，終身維護(hù) |
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