全功能X射線(xiàn)顯微鏡
研究型X射線(xiàn)顯微鏡XROS MF30，使用具有比可見(jiàn)光短的波長(zhǎng)的X射線(xiàn)作為探針，獲得具有高空間分辨率的圖像。此系統(tǒng)也集成光學(xué)顯微鏡，X射線(xiàn)攝影，局部元素XRF微分析，元素mapping等功能。全功能X射線(xiàn)顯微鏡
全功能X射線(xiàn)顯微鏡特點(diǎn)：
微焦點(diǎn)X射線(xiàn)管
用于X射線(xiàn)波束形成的可變光束尺寸的聚毛細(xì)管透鏡
一組基本的輻射濾波器
攝像機(jī)用于選擇分析區(qū)域
用于分析區(qū)域調(diào)查的光學(xué)數(shù)碼顯微鏡
光學(xué)顯微鏡軸線(xiàn)與x射線(xiàn)探針軸線(xiàn)相結(jié)合
工作距離的自動(dòng)選擇系統(tǒng)
自動(dòng)X、Y坐標(biāo)取樣臺(tái)，用于分析區(qū)域的定位和掃描
分析單元沿Z軸的自動(dòng)移動(dòng)
射線(xiàn)檢查用探測(cè)器
用于局部XRF分析的硅漂移檢測(cè)器
用于分析輕元素的真空測(cè)量室
內(nèi)置的自動(dòng)X光管水冷卻系統(tǒng)
軟件：
局部元素分析與元素填圖
X射線(xiàn)攝影
記錄和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
|
一組可更換輻射濾光片(12個(gè))
X射線(xiàn)管
內(nèi)置水冷系統(tǒng)
硅漂移探測(cè)器
回看攝像機(jī)
光學(xué)顯微鏡軸與微探針軸結(jié)合(銳度自動(dòng)調(diào)節(jié))
光學(xué)顯微鏡(手動(dòng)調(diào)整銳度)
樣品臺(tái)(XY位移，精度10um)
束源 | ||
| 微焦點(diǎn)X射線(xiàn)管: | ||
| 45 kV | |
| 500 W | |
| Mo, other by request | |
用于X射線(xiàn)波束形成的可變光束尺寸的聚毛細(xì)管透鏡
|
30 - 1 000 μm | |
一組基本的光束濾波器 | Zr, Ti, Mo, Ag, Al, Cu, Cl | |
光學(xué)研究 | |
光學(xué)數(shù)字顯微鏡：
|
200х |
樣品定位和mapping | |
用攝像機(jī)選擇分析區(qū)域 | |
光學(xué)顯微鏡結(jié)合X射線(xiàn)探頭的軸線(xiàn)來(lái)控制分析區(qū)域 | |
| 樣品和探針移動(dòng)系統(tǒng)： | |
| |
| |
| Z軸定位精度 | 12 μm |
| 10 μm |
| 150x150 mm |
| 300х210х100 mm |
| 1 kg |
X射線(xiàn)熒光分析 | |
局部元素分析用能量色散半導(dǎo)體探測(cè)器 | |
| |
| <150 eV |
| 1 - 40 keV |
| 1 000 000 cps |
| from 1 ppm to 100% |
| X射線(xiàn)攝影 |
| 用于射線(xiàn)照相研究的通過(guò)樣本輻射傳輸?shù)狞c(diǎn)探測(cè)器(可選ccd探測(cè)器) |
分析單元 | |
電源 | 230 V, 50 Hz |
Size (W x D x H) | 615 x 665 x 650 mm |
Weight | 85 kg |
上海昊量光電設(shè)備有限公司
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