HCMP 手動(dòng)探針臺(tái)

微型真空探針臺(tái)是一款專(zhuān)門(mén)用于材料電學(xué)表征和測(cè)量的微型桌面型電學(xué)測(cè)量臺(tái)，主要用于介電、壓電、鐵電、熱釋電、光電等材料的電學(xué)表征和測(cè)量，還可以在真空、氣氛環(huán)境下對(duì)材料進(jìn)行電學(xué)測(cè)量評(píng)估，是實(shí)驗(yàn)室測(cè)量薄膜材料電學(xué)材料工具，廣泛用于高校、科研、航天航空、等領(lǐng)域。

功能特點(diǎn)

1、無(wú)人機(jī)外觀設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)，讓低溫探針臺(tái)加小巧精密；

2、XYZ三維移動(dòng)平臺(tái)的開(kāi)發(fā)，位移最小分辨率10um以下；

3、電聲制冷機(jī)制冷加熱一體化平臺(tái)應(yīng)用開(kāi)發(fā)；

4、液氮制冷加熱一體化平臺(tái)應(yīng)用開(kāi)發(fā)；

5、利用機(jī)械彈性設(shè)計(jì)，低溫環(huán)境下也有彈性，避免在探針壓薄膜樣品是損壞薄膜；

6、實(shí)現(xiàn)-160℃~450℃的制冷和加熱測(cè)量環(huán)境，控溫精度達(dá)到±0.5℃；

7、采用1000X放大鏡顯微鏡設(shè)計(jì)，有利于實(shí)時(shí)觀察樣品的測(cè)量狀態(tài)；

8、廣泛用于復(fù)雜、高速器件的精密電器測(cè)量，可靠性高；

9、高低溫平臺(tái)、測(cè)量夾具、測(cè)量軟件等集成于一體，讓操作變得簡(jiǎn)單；

10、可以通過(guò)USB傳輸數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)格式為Excel格式。

應(yīng)用場(chǎng)景：晶圓芯片高低溫測(cè)試

測(cè)試類(lèi)型：IV/CV/RF

樣品臺(tái)：4英寸

溫度范圍：77K-673K

真空度：10E-4Pa

顯微鏡類(lèi)型：?jiǎn)瓮?、體視、金相顯微鏡

探針臂數(shù)量：2-6個(gè)

探針臂移動(dòng)：50mm*50mm*50mm

測(cè)試接口：BNC三同軸

測(cè)試精度：100fA

可搭配儀器：源表、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、網(wǎng)絡(luò)分析儀、示波器等