■測試范圍廣:包括硅塊、硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶、硅片等的少子壽命及鍺單晶的少子壽命測量。
■主要應(yīng)用于硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶、硅塊、硅片的進廠、出廠檢查,生產(chǎn)工藝過程中重金屬沾污和缺陷的監(jiān)控等。
■適用于低阻硅料少子壽命的測量,電阻率測量范圍可達ρ>0.1Ω?cm(可擴展至0.01Ω?cm),解決了微波光電導(dǎo)無法檢測低阻單晶硅的問題。
■全程監(jiān)控動態(tài)測試過程,避免了微波光電導(dǎo)(u-PCD)無法觀測晶體硅陷阱效應(yīng),表面復(fù)合效應(yīng)缺陷的問題。
■貫穿深度大,達500微米,相比微波光電導(dǎo)的30微米的貫穿深度,真正體現(xiàn)了少子的體壽命的測量,避免了表面復(fù)合效應(yīng)的干擾。
■專業(yè)定制樣品架地滿足了原生多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)測試多種形狀的硅材料少子壽命的要求,包括硅芯、檢磷棒、檢硼棒等。
■性價比高,國外國外少子壽命測試儀產(chǎn)品,極大程度地降低了企業(yè)的測試成本。
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