全新設計的電子光學系統(tǒng)和信號處理技術實現了高速掃描和低噪音的觀察
和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比，自動功能縮短。
具有在低真空時可以非常好地觀察樣品最表面的細微形狀的“UVD（超高靈敏度可變壓力探測器）
具有實現了實時立體成像的“實時立體觀察功能
（*1）：自選
（*2）：和日立SEM S-3400N相比
（*3）：根據觀察條件的不同，時間會有變動
（*4）：自選
二手SEM掃描電子顯微鏡規(guī)格
項目 | 描述 | |
| 二次電子分辨率 | 3.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm高真空模式） | |
| 7.0nm（加速電壓=3kV，WD=5mm高真空模式） | ||
| 背散射電子分辨率 | 4.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm低真空模式） | |
| 10.0nm（加速電壓=5kV，WD=5mm高真空模式） | ||
| 放大倍率 | 5 - 300,000倍（底片倍率＊5） | |
| 7 - 800,000倍（顯示器顯示倍率＊6） | ||
| 加速電壓 | 0.3 - 30kV | |
| 可變壓力范圍 | 6 - 650Pa | |
| 最大樣品尺寸 | 直徑 200mm | |
| 樣品臺 | X | 0 - 100mm |
| Y | 0 - 50mm | |
| Z | 5 - 65mm | |
| R | 360° | |
| T | -20° - 90° | |
| 可觀察區(qū)域 | 直徑 130mm （旋轉并用） | |
| 最大樣品高度 | 80mm（WD=10mm） | |
| 馬達臺 | 5軸標配 | |
| 電子光學系統(tǒng) | 電子槍 | 預對中的鎢燈絲 |
| 物鏡光闌 | 4孔可動光闌 | |
| 探檢測器 | 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器 | |
| 高靈敏度半導體背散射電子檢測器 | ||
| EDX分析 WD | 10mm（取出角35°） | |
| 圖像顯示 | 操作系統(tǒng) | Windows® 7＊7（如有更改，恕不另行通知） |
| 圖像顯示模式 | 全屏模式（1,280 × 960 像素） | |
| 小屏模式（800 × 600 像素） | ||
| 雙圖像顯示（800 × 600 像素） | ||
| 四屏幕顯示（640 × 480像素） | ||
| 信號混合模式 | ||
| 排氣系統(tǒng) | 操作 | 全自動排氣 |
| 渦輪分子泵 | 210升/秒 × 1 | |
| 機械泵 | 135L/min（162L/min，60Hz）× 1 | |
1.成像功能
SU3500日立掃描電子顯微鏡所具備的新型的模擬圖像和改進后的電子光學系統(tǒng)以及圖像顯示算法使之能夠在低加速電壓下獲得更高的分辨率。3KV電壓時，SE圖像可達7nm,5KV電壓時，BSE圖像可達10nm。開發(fā)的自動多級電子槍偏壓機構能夠在不降低電子束大小的情況下，在一定范圍內的常用加速電壓下增加發(fā)射電流。因此，此款產品與S-3400N相比，噪音得以大幅減少，成像更加清晰。
通過SU3500的開發(fā)并優(yōu)化過的圖像處理方法，現在可以很容易地在快速掃描模式下觀察到低噪聲的圖像。高速自動聚焦控制(AFC)和自動亮度及對比度控制(ABCC)的增強，使您可以縮短*2SEM(掃描電子顯微鏡)的觀察循環(huán)時間(TAT)
2.低真空功能操作的優(yōu)異性
新設計的真空程序使真空范圍可以達到6-650Pa,實時真空反饋允許在用戶特定的壓力設定下保持樣品室的快速的真空穩(wěn)定性。在低真空模式下直接觀察更清晰。
SU3500日立掃描電子顯微鏡具有一個可變壓力模式，允許對處于自然狀態(tài)下的潮濕，油膩和非導電樣品進行觀察。由于正電離子是電子束撞擊殘余氣體分子的結果，所以不需要進行傳統(tǒng)的樣品前處理，比如干燥和金屬鍍層。
新開發(fā)的超高靈敏度可變壓力探測器得以進一步優(yōu)化，特別是在可變壓力模式下觀察超薄表面的微觀結構方面。通過同時觀察從標準BSE探測器得到的組成圖像，使得在多種應用下進行的各種各樣的分析都成為可能。振木以銅礦物、樹脂填料、水虱等圖像為例真實的再現了SU3500的這項功能。
深圳市心怡創(chuàng)科技有限公司
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