LUXET Thermo 100-鎖相紅外顯微成像系統(tǒng)
2025-02-05
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LUXET Thermo 100 是一款全guo產(chǎn)化的鎖相紅外顯微成像系統(tǒng)。配備了全自動(dòng)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、高靈敏度制冷型中波紅外相機(jī)、廣角鏡頭與大倍率顯微鏡頭、高壓源表，可以適用于晶圓、電路板等多種不同種類器件的失效點(diǎn)定位。
LUXET Thermo 100鎖相紅外顯微成像系統(tǒng)特色：
應(yīng)用場景：
物鏡 8X
電壓 6V
鎖相頻率 12.5Hz
· 電極之間的短路
· 漏電和擊穿
· 器件電阻異常
· 器件上的溫度分布
工作原理：
鎖相紅外測量過程是通過調(diào)制施加的電流或電壓，利用視頻鎖相算法來達(dá)到降低背景噪聲的目的。利用這個(gè)技術(shù)，器件的失效點(diǎn)可非常精準(zhǔn)地被定位。
軟件：
自主研發(fā)的測量軟件,包含時(shí)域重構(gòu)、深度測量、圖像暫存、電壓-電流測量等功能。
LUXET Thermo 100鎖相紅外顯微成像系統(tǒng)規(guī)格：
| 物鏡 | ||||
| 分辨率板實(shí)拍圖 | 名稱 | 數(shù)值孔徑 | 視野范圍(mm） | 分辨率(um） |
| MWIR WA | 0.125 | 96*76.8~19.2*15.36 | N/A |
| MWIR 1X | 0.125 | 9.6*7.68 | 20 |
| MWIR 8X | 0.8 | 1.2*0.96 | 2 |
| 制冷中紅外紅外相機(jī) | ||||
| 探測器 | 銻化銦（InSb） | 碲鎘汞（HgCdTe） | ||
| 面陣尺寸 | 640*512 | 640*512 | ||
| 制冷方式 | 線性制冷機(jī) | 線性制冷機(jī) | ||
| NETD | <25mK | <25mK | ||
| 制冷機(jī)壽命 | 20,000h | 20,000h | ||
| 尺寸參數(shù) | ||||
| 名稱 | Thermo 100 | |||
| 寬*深*高 | 1300*1094*2160mm | |||
| 重量 | Approx. 600kg | |||
| 工作條件 | ||||
| 電壓 | AC220V | |||
| 真空 | 大于50kPa | |||
| 壓縮空氣 | 0.6-0.8MPa | |||
| 運(yùn)動(dòng)行程 | ||||
| X | ±80mm | |||
| Y | ±80mm | |||
| Z | 450mm | |||
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