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產(chǎn)      地:
暫無
所在地區(qū):
浙江杭州市
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HTC日揚(yáng)CR全金屬直角閥

性能參數(shù)

l 域勢很高興為您提供本公司的真空閥。這些閥門是長期精心研發(fā)的成果,旨在確保產(chǎn)品質(zhì)量、可靠性和價(jià)值。我們竭盡全力提供適合不同客戶要求的閥門系列。我們的閥門能在各種應(yīng)用場合中可靠運(yùn)行,包括存在化學(xué)和微粒污染的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)。

l 使用壽命長。                                          

l 不銹鋼焊接波紋管密封。

l Viton,密封圈可間歇性烘烤至200℃。                    

l 結(jié)構(gòu)緊湊。

l 通過電磁閥進(jìn)行簡單控制。                              

l 維護(hù)簡單快捷。

l 手動(dòng)或電氣動(dòng)操作或安全故障操作(氣壓損失時(shí)關(guān)閉)。


規(guī)格

l 閥體            SUS304(可根據(jù)要求提供其他材質(zhì))

l 提升閥           SUS304(可根據(jù)要求提供其他材質(zhì))

l 波紋管           焊接AM-350(選配)

l 電磁閥           選配

l 位置指示器        選配

l 密封            Viton O型圈

l 泄漏率           2x10-9mbar.1/s

l 壓力范圍         1x10-9mbar1000mbar Viton密封圈

l 開啟前的最大壓力△   1.2Bar

l 工作氣壓         4-6.5kg/cm2

l 維修前的循環(huán)次數(shù)    波紋管型:1650-50,000;63150-250,000;200250-80,000

   非波紋管型:1650-200,000;63250-10,000(取決于O型圈的狀況)

                (非波紋管型建議垂直安裝)

l 耐溫限制:

耐溫

閥體

O型圈閥蓋密封

開≤100

關(guān)≤100

金屬密封圈密封

開≤200

關(guān)≤150

手動(dòng)和氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器

80







l 可根據(jù)要求提供更大或特殊尺寸。


用途

l KF、ISOANSI端口型號(hào)專為真空壓力接近10-9torr且烘烤溫度不超過150℃的高真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)。標(biāo)準(zhǔn)的國際KF/ISO配置和ANSI配置用于需要易于安裝和拆卸的法蘭式密封的區(qū)域。

l CF端口型號(hào)專為真空壓力接近10-10torr且烘烤溫度不超過200℃的超真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)。在使用OFHC無氧銅墊片而非傳統(tǒng)的Viton O型圈時(shí),這些閥門具有更高的烘烤溫度、更低的真空壓力(釋氣最少),以及更低的真空漏率。它們還常用于需要更持久密封的應(yīng)用。


HTC日揚(yáng)CR全金屬直角閥

性能參數(shù)

l 工作溫度范圍:

 耐溫:400℃(開),300℃(關(guān))

 低溫:-200℃

l 壓力范圍:1×10-10mbar~1000mbar

l 全不銹鋼結(jié)構(gòu)

l 波紋管閥桿密封

l 泄漏率:5X10-10 mbar.l/sec

l 關(guān)閉扭矩:

 CR16第一次150kg-cm,最大250kg-cm;

 CR35第一次300kg-cm,最大600kg-cm;

 CR63第一次300kg-cm,最大900kg-cm。

l 方向:任意位置

HTC日揚(yáng)CR全金屬直角閥

HTC日揚(yáng)CR全金屬直角閥

型號(hào)

A

B

C

D

O.D

料號(hào)

AVBAK-CR16

38.1

121.2

131

38.1

19.05

300509030011

AVBAK-CR35

62.5

170

187

54

38.1

300513030011

AVBAK-CR63

105

266

294

76.2

63.5

300515030011






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