性能參數(shù)
l 域勢很高興為您提供本公司的真空閥。這些閥門是長期精心研發(fā)的成果，旨在確保產(chǎn)品質(zhì)量、可靠性和價值。我們竭盡全力提供適合不同客戶要求的閥門系列。我們的閥門能在各種應(yīng)用場合中可靠運行，包括存在化學(xué)和微粒污染的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)。
l 使用壽命長。
l 不銹鋼焊接波紋管密封。
l Viton，密封圈可間歇性烘烤至200℃。
l 結(jié)構(gòu)緊湊。
l 通過電磁閥進(jìn)行簡單控制。
l 維護(hù)簡單快捷。
l 手動或電氣動操作或安全故障操作（氣壓損失時關(guān)閉）。
規(guī)格
l 閥體 SUS304（可根據(jù)要求提供其他材質(zhì)）
l 提升閥 SUS304（可根據(jù)要求提供其他材質(zhì)）
l 波紋管 焊接AM-350（選配）
l 電磁閥 選配
l 位置指示器 選配
l 密封 Viton O型圈
l 泄漏率 2x10-9mbar.1/s
l 壓力范圍 1x10-9mbar至1000mbar Viton密封圈
l 開啟前的最大壓力△ 1.2Bar
l 工作氣壓 4-6.5kg/cm2
l 維修前的循環(huán)次數(shù) 波紋管型：16至50-50,000；63至150-250,000；200至250-80,000
非波紋管型：16至50-200,000；63至250-10,000（取決于O型圈的狀況）
（非波紋管型建議垂直安裝）
l 耐溫限制：
耐溫 | 閥體 | O型圈閥蓋密封 | 開≤100℃ |
關(guān)≤100℃ | |||
金屬密封圈密封 | 開≤200℃ | ||
關(guān)≤150℃ | |||
手動和氣動驅(qū)動器 | ≤80℃ | ||
l 可根據(jù)要求提供更大或特殊尺寸。
用途
l KF、ISO和ANSI端口型號專為真空壓力接近10-9torr且烘烤溫度不超過150℃的高真空應(yīng)用而設(shè)計。標(biāo)準(zhǔn)的國際KF/ISO配置和ANSI配置用于需要易于安裝和拆卸的法蘭式密封的區(qū)域。
l CF端口型號專為真空壓力接近10-10torr且烘烤溫度不超過200℃的超真空應(yīng)用而設(shè)計。在使用OFHC無氧銅墊片而非傳統(tǒng)的Viton O型圈時，這些閥門具有更高的烘烤溫度、更低的真空壓力（釋氣最少），以及更低的真空漏率。它們還常用于需要更持久密封的應(yīng)用。
HTC日揚CR全金屬直角閥
性能參數(shù)
l 工作溫度范圍：
耐溫：400℃（開），300℃（關(guān)）
低溫：-200℃
l 壓力范圍：1×10-10mbar～1000mbar
l 全不銹鋼結(jié)構(gòu)
l 波紋管閥桿密封
l 泄漏率：5X10-10 mbar.l/sec
l 關(guān)閉扭矩：
CR16第一次150kg-cm，最大250kg-cm；
CR35第一次300kg-cm，最大600kg-cm；
CR63第一次300kg-cm，最大900kg-cm。
l 方向：任意位置
HTC日揚CR全金屬直角閥
型號 | A | B | C | D | O.D | 料號 |
AVBAK-CR16 | 38.1 | 121.2 | 131 | 38.1 | 19.05 | 300509030011 |
AVBAK-CR35 | 62.5 | 170 | 187 | 54 | 38.1 | 300513030011 |
AVBAK-CR63 | 105 | 266 | 294 | 76.2 | 63.5 | 300515030011 |
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