2024-12-08
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系統(tǒng)概述
駭思HyperPureX ICM-E系列集成電路電子級(jí)超純水系統(tǒng)以嚴(yán)謹(jǐn)?shù)暮弦?guī)性指導(dǎo)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、制造、安裝和驗(yàn)證的全過(guò)程，以模塊化的設(shè)計(jì)集成了多介質(zhì)過(guò)濾、活性炭吸附、軟化、二級(jí)RO2nd、脫氣、EDI、超濾、紫外殺菌和TOC降解、樹(shù)脂超純化、以及終端微濾各純化單元，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓及液晶屏清洗、芯片等各種精密電子元器件的加工和制造。
水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 11446.1-2013、GB/T 33087-2016、ASTM D1193-06等規(guī)定的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)
工藝路徑
1. 預(yù)處理系統(tǒng)+二級(jí)反滲透RO2nd系統(tǒng)+脫氣系統(tǒng)+EDI系統(tǒng)+超純化系統(tǒng)+儲(chǔ)存分配系統(tǒng)
性能特點(diǎn)
10“彩色觸控屏及 PLC控制模塊且具有物聯(lián)網(wǎng)（IOT）和云平臺(tái)功能的全自動(dòng)控制系統(tǒng)；
模塊化設(shè)計(jì)理念，結(jié)構(gòu)緊湊，便于操作及后期維護(hù)；
整套設(shè)備可以排空設(shè)計(jì)；
可根據(jù)客戶原水水質(zhì)優(yōu)化調(diào)整工藝路線；
系統(tǒng)內(nèi)部部分濃水可回收，可提高系統(tǒng)回收率至80%以上；
確保過(guò)程檢驗(yàn)、質(zhì)量監(jiān)控、驗(yàn)證文件符合用戶需求；
應(yīng)用范圍
液晶面板制作、半導(dǎo)體晶圓、芯片等各種精密電子元器件行業(yè)的加工和制造
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溫州市眾力生物科技有限公司
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