2025-05-08
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日本Otsuka大塚在線掃描膜厚儀膜厚測定儀-成都藤田科技提供
產(chǎn)品信息
特點(diǎn)
● 采用線掃描方式檢測整面薄膜
● 硬件&軟件均為創(chuàng)新設(shè)計
● 作為專業(yè)膜厚測定廠商，提供多種支援
● 實(shí)現(xiàn)高精度測量（已獲?。?/span>
● 實(shí)現(xiàn)高速測量
● 不受偏差影響
● 可對應(yīng)寬幅樣品（TD方向大可測量10m）
式樣
| 在線型 | 離線型 | |
| 膜厚范圍 | 0.7~300μm*1 | |
| 測量寬度 | TD:500mm~大10m x MD1mm | TD:250mmxMD1mm |
| 測量間隔 | 10ms ~ | |
| 設(shè)備尺寸 | 81(W)x140(D)x343(H)mm | 459(H)x609(D)x927(H)mm |
| 重量 | 4kg(僅測量頭) | 60kg |
| 大功耗 | AC100V 10% 125VA | |
※膜厚值n=1.5的換算。由式樣而定
測量案例
500mm寬的包裝薄膜
核心特點(diǎn)：
微區(qū)測量能力：最小光斑直徑3μm，搭配自動XY平臺（200×200mm），實(shí)現(xiàn)晶圓、FPD（如OLED、ITO膜）等微小區(qū)域的精準(zhǔn)厚度分布映射。
跨行業(yè)適用性：專為半導(dǎo)體（SiO?/SiN膜）、顯示面板（彩色光阻）、DLC涂層等行業(yè)設(shè)計，支持粗糙表面、傾斜結(jié)構(gòu)及復(fù)雜光學(xué)異向性樣品的分析。
安全與擴(kuò)展性：區(qū)域傳感器觸發(fā)防誤觸機(jī)制，獨(dú)立測量頭支持定制化嵌入，滿足在線檢測（inline）與實(shí)驗(yàn)室研發(fā)需求。
日本Otsuka大塚在線掃描膜厚儀膜厚測定儀-成都藤田科技提供
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成都藤田科技有限公司
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