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日本Otsuka大塚在線掃描膜厚儀膜厚測定儀

2025-05-08

產(chǎn)      地:
暫無
所在地區(qū):
四川成都市
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日本Otsuka大塚在線掃描膜厚儀膜厚測定儀-成都藤田科技提供

 

日本Otsuka大塚在線掃描膜厚儀膜厚測定儀

產(chǎn)品信息

特點(diǎn)

● 采用線掃描方式檢測整面薄膜

● 硬件&軟件均為創(chuàng)新設(shè)計

● 作為專業(yè)膜厚測定廠商,提供多種支援

● 實(shí)現(xiàn)高精度測量(已獲?。?/span>

● 實(shí)現(xiàn)高速測量

● 不受偏差影響

● 可對應(yīng)寬幅樣品(TD方向大可測量10m)

 

日本Otsuka大塚在線掃描膜厚儀膜厚測定儀

日本Otsuka大塚在線掃描膜厚儀膜厚測定儀

 

 

式樣

  在線型 離線型
膜厚范圍 0.7~300μm*1
測量寬度 TD:500mm~大10m x MD1mm TD:250mmxMD1mm
測量間隔 10ms ~
設(shè)備尺寸 81(W)x140(D)x343(H)mm 459(H)x609(D)x927(H)mm
重量 4kg(僅測量頭) 60kg
大功耗 AC100V 10% 125VA

※膜厚值n=1.5的換算。由式樣而定

測量案例

500mm寬的包裝薄膜


日本Otsuka大塚在線掃描膜厚儀膜厚測定儀

 

日本Otsuka大塚在線掃描膜厚儀膜厚測定儀

     核心特點(diǎn):

    微區(qū)測量能力:最小光斑直徑3μm,搭配自動XY平臺(200×200mm),實(shí)現(xiàn)晶圓、FPD(如OLED、ITO膜)等微小區(qū)域的精準(zhǔn)厚度分布映射。

    跨行業(yè)適用性:專為半導(dǎo)體(SiO?/SiN膜)、顯示面板(彩色光阻)、DLC涂層等行業(yè)設(shè)計,支持粗糙表面、傾斜結(jié)構(gòu)及復(fù)雜光學(xué)異向性樣品的分析。

    安全與擴(kuò)展性:區(qū)域傳感器觸發(fā)防誤觸機(jī)制,獨(dú)立測量頭支持定制化嵌入,滿足在線檢測(inline)與實(shí)驗(yàn)室研發(fā)需求。

    日本Otsuka大塚在線掃描膜厚儀膜厚測定儀-成都藤田科技提供

 

 

 

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