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日立SU-8010 二手掃描電鏡

2025-04-09

產(chǎn)      地:
暫無(wú)
所在地區(qū):
廣東深圳市
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日立SU-8010 二手掃描電鏡特點(diǎn):
1. 優(yōu)秀的低加速電壓成像能力,1kv分辨率可達(dá)1.3nm
2. 日立的ExB設(shè)計(jì),不需噴鍍,可以直接觀測(cè)不導(dǎo)電樣品
3. 配置Lower、Upper和Top三個(gè)Everhart-Thornley型探測(cè)器
4. Upper和Top探頭均可選擇接受二次電子像或背散射電子像
5. 可以根據(jù)樣品類型和觀測(cè)要求選擇打開(kāi)或關(guān)閉減速功能
6. 標(biāo)配有冷指、電子槍內(nèi)置加熱器,物鏡光闌具有自清潔功能
7. 儀器的烘烤維護(hù)及烘烤后的透鏡機(jī)械對(duì)中均可由用戶自行完成


日立SU-8010 二手掃描電鏡

日立SU-8010 二手掃描電鏡主要技術(shù)指標(biāo):

  • 二次電子分辨率1.0nm(加速電壓15kV、WD=4mm)1.3nm(加速電壓1kV、WD=1.5mm)加速電壓 0.1~30kV觀測(cè)倍率 20~8000,000(底片輸出)60~2,000,000樣品臺(tái)馬達(dá)驅(qū)動(dòng) 3軸馬達(dá)行程 X 0~50mmY 0~50mmZ 360°T -5~70°R 1.5~30mm最大裝載尺寸 100mm(最大)


  • 主要功能:

  • Hitachi SU-8010場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡采用了新型ExB式探測(cè)器和電子束減速功能,提高了圖象質(zhì)量(15 kV下分辨率1 nm),尤其是將低加速電壓下的圖象質(zhì)量提高到了新的水平(1 kV下1.4 nm);新型的透鏡系統(tǒng),提高了高分辨模式、高速流模式、大工作距離模式等多種工作模式,使其能夠精確和清楚地捕捉最短暫的瞬間。

項(xiàng)目

SU8020

SU8030

SU8040

二次電子分辨率

1.0nm (加速電壓15kV、WD=4mm)

1.3nm (加速電壓1kV、WD=1.5mm)

加速電壓

0.1~30kV

觀測(cè)倍率

20~8000,000(底片輸出)

60~2,000,000(顯示器輸出)

樣品臺(tái)

馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

5軸

REGULUS樣品臺(tái)

行程

X

0~50mm

0~110mm

Y

0~50mm

0~110mm

0~80mm

Z

360°

T

-5~70°

R

1.5~30mm

1.5~40mm

zui大裝載尺寸

100mm(zui大)

150mm(zui大)

150mm(zui大)

150mm(選配)

200mm(選配)

探頭

標(biāo)配

Lower

高立體感圖像

Upper

高分辨SE、LA-BSE圖像

Top

SE的電位襯度像、HA-BSE圖像


選配

STEM

明場(chǎng)像、暗場(chǎng)像

YAG 探頭

BSE圖像

半導(dǎo)體探頭

BSE圖像

EBIC

電子束感生電流圖像

EDS

元素分析

反污染措施

冷指

標(biāo)配

物鏡光闌

內(nèi)置自清潔功能

電子槍

內(nèi)置加熱器

真空系統(tǒng)

離子泵

3臺(tái)

分子泵

1臺(tái)

機(jī)械泵

1臺(tái)




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