SUPEC 2050半導(dǎo)體AMC綜合監(jiān)測(cè)系統(tǒng)由采樣預(yù)處理子系統(tǒng)、氣體監(jiān)測(cè)子系統(tǒng)以及輔助設(shè)備和數(shù)據(jù)采集與處理子系統(tǒng)等構(gòu)成：

采樣預(yù)處理子系統(tǒng)：由多路樣氣傳輸管、采樣泵和分布式多通道采樣儀組成，可以對(duì)多個(gè)點(diǎn)位進(jìn)行不間斷實(shí)時(shí)采樣，并通過(guò)管路切換實(shí)現(xiàn)不同采樣點(diǎn)樣氣的循環(huán)監(jiān)測(cè)。

氣體監(jiān)測(cè)子系統(tǒng)：由多個(gè)分析儀組成，可以根據(jù)不同的監(jiān)測(cè)需求進(jìn)行定制化的搭配，實(shí)現(xiàn)不同物質(zhì)的在線監(jiān)測(cè)。

輔助系統(tǒng)：由集成機(jī)柜和校準(zhǔn)單元組成，可以保證整套系統(tǒng)的正常運(yùn)行，校準(zhǔn)單元可以定期對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)，保證監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)的穩(wěn)定和準(zhǔn)確。

數(shù)據(jù)采集與處理子系統(tǒng)：可以監(jiān)控查詢(xún)所有測(cè)量信息和系統(tǒng)工作狀態(tài)信息，并將監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)傳輸至企業(yè)的中控平臺(tái)。

性能優(yōu)勢(shì)

采樣覆蓋面廣

多點(diǎn)位同時(shí)采樣，覆蓋面廣，成本低，可支持200m點(diǎn)位監(jiān)測(cè)，多點(diǎn)位形成網(wǎng)格化分析體系。

輪巡速度快

系統(tǒng)具備預(yù)抽功能，節(jié)約管路傳輸?shù)却龝r(shí)間。

自由配置通道數(shù)量

系統(tǒng)可擴(kuò)展，可自由配置采樣點(diǎn)位數(shù)量。

樣品間干擾小

具備反吹功能.確保各路樣品互不影響，低殘留。

樣品超標(biāo)留樣

可搭配超標(biāo)留樣，系統(tǒng)可搭配蘇瑪罐留樣系統(tǒng)，當(dāng)點(diǎn)位污染超標(biāo)時(shí)自動(dòng)留樣。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)檢測(cè)