PF-60LS-隱形眼鏡用激光輪廓儀

2025-06-03

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大面積高速測(cè)量

半徑僅為0.5um的激光光斑配合高精度XY電動(dòng)平臺(tái)，可在亞微米級(jí)（XY=0.1um，Z=0.01um）的精度下一次性測(cè)量最大至60x60x10mm的物體。

比如，在測(cè)量NIST間隔標(biāo)準(zhǔn)塊時(shí)，僅需6分鐘就能測(cè)量0.8mm方形區(qū)域（128,000點(diǎn)），相比傳統(tǒng)設(shè)備的1小時(shí)20分，大大縮短了測(cè)量時(shí)間。

隱形眼鏡用激光輪廓儀

測(cè)量切削后的鏡片表面

隱形眼鏡用激光輪廓儀

基弧曲率半徑的測(cè)量

隱形眼鏡用激光輪廓儀

基弧曲率半徑測(cè)量的再現(xiàn)性

隱形眼鏡用激光輪廓儀

分析擬合多弧段輪廓的曲率半徑和直徑

隱形眼鏡用激光輪廓儀

表面平整度測(cè)量

隱形眼鏡用激光輪廓儀

表面粗糙度測(cè)量

隱形眼鏡用激光輪廓儀

技術(shù)參數(shù)：

機(jī)械部分
運(yùn)動(dòng)軸	X軸	Y軸	Z1軸（測(cè)量用）	Z2軸（定位用）
測(cè)量范圍	60mm	60mm	10mm	60mm
分辨率	0.1um	0.1um	0.01um	0.1um
標(biāo)尺方式	光柵尺	光柵尺	光柵尺	脈沖控制
測(cè)量精度 (L=測(cè)量距離mm)	(2+4L/100) um	(2+4L/1000) um	(0.3+0.5L/10) um	-
自動(dòng) 對(duì)焦系統(tǒng)	再現(xiàn)性	σ=0.03μm（鏡面反射樣本）
	對(duì)焦光斑	Φ=1um（100X物鏡）
	光源	半導(dǎo)體激光（635nm，最大1mW，Class-2）
	測(cè)量物鏡	100X（工作距離3.4mm，數(shù)值孔徑0.8）觀察倍率約1100X（19吋顯示器時(shí)）
	定位物鏡	5X（滑動(dòng)式切換）【視場(chǎng)】
	照明	柯勒照明光路（白色LED光源）
其他	XY載物臺(tái)	210*210mm
	樣品高度	最大70mm
	樣品重量	最大4kg
	設(shè)備尺寸	主機(jī)400400450mm
	防震功能	三點(diǎn)式支撐墊（固有頻率：水平方向2.1Hz，垂直方向3.3Hz）
	設(shè)備重量	31Kg
控制部分
操作界面		電腦（Windows操作系統(tǒng)）
運(yùn)動(dòng)控制器		四軸控制器（MSCN-4N）
功耗（合計(jì)）		250W

不同測(cè)量原理設(shè)備的對(duì)比表：