MKS MultiGas 6030傅里葉變換紅外氣體分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜 分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分 析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達(dá)40%水的氣流，能同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體。分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜，故省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會(huì)發(fā)現(xiàn)MKS MultiGas 6030傅里葉變換紅外氣體分析儀操作簡(jiǎn)便，易于維護(hù)。 MultiGas 6030由保護(hù)的2102傅利葉變換紅外制成分光計(jì)， 高光通量取樣單元，分析軟件及獨(dú)立的定量光譜庫(kù)組成。MultiGas 6030收集高分辨率 的紅外光譜與定量光譜庫(kù)分析，提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測(cè)量。 

特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

? 10ppb-靈敏度對(duì)于絕大多數(shù)有毒有害氣體 

? 易于移動(dòng)從一處移到另一處，設(shè)置僅需幾分鐘 

? 同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體

? 分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜，省去了氣體筒的成本

? 取樣氣體在進(jìn)入分析室前加熱并維持恒定溫度

? 保護(hù)的線性檢測(cè)器，確保所有分析儀維持在相同的校準(zhǔn)條件下

 ? 頻率和分辨率診斷，確保校準(zhǔn)恒定

 ? 提供自動(dòng)溫度和壓力補(bǔ)償以確保分析精度

 ? 用戶操作簡(jiǎn)便軟件界面，稍加培訓(xùn)即可操作

應(yīng)用

? 煙囪監(jiān)測(cè)器 

? 工藝監(jiān)測(cè)改進(jìn)和優(yōu)化

? 空氣環(huán)境分析 

? 氣體純度分析 

? 燃燒排放監(jiān)測(cè) 

? 選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測(cè) 

規(guī)格

分析儀主機(jī)

分析儀采樣參數(shù)

分析儀氣體室

檢測(cè)極限