MultiSEM-ZEISS蔡司超高速掃描電子顯微鏡
2025-08-06
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技術(shù)參數(shù)：
| 分辨率 | 所有電子束的平均分辨率 @ 1.0 kV、1.5 kV、3.0 kV | ≤ 3.5 nm |
| 分辨率的均勻性 | @ 1.0 kV、1.5 kv、3.0 kv 和 12 um 間距 | ≤ ±1 nm |
| 著陸能量 | 范圍 | 1.0- 3.0 kv |
| 電子束布局 | 電子束圖樣 | 六邊形 |
| 電子束數(shù)量 | 91 | |
| 間距(單束光成像寬度) | 12 μm 間距 /15 μm（可選） | |
| 間距均勻性 | ≤ ±1% | |
| 觀察視野(FOV) | 六邊形的長(zhǎng)軸12 μm 或 15 μm(間距) | 132 um / 165 um |
| 電子束流 | 單個(gè)電子束 | ≥ 570 pA |
| 總電流 | ≥ 52 nA | |
| 均勻性 | ≤+10% | |
| 電子源 | 燈絲 | 肖特基發(fā)射源 |
| 燈絲電流穩(wěn)定性 | ≤ 1% 每小時(shí) | |
| 束閘 | 靜電束閘 | |
| 工作距離 | 1.4 mm | |
| 檢測(cè)器 | 帶有高效多重檢測(cè)裝置的二次電子投影光學(xué)系統(tǒng) | |
| 掃描 | ||
| 掃描速率 | 最大為每束 20 MHZ，可提供不同的離散掃描速度 | |
| 掃描模式 | 逐行掃描 | |
| 像素尺寸 | 12 μm 間距的范圍 | 2 nm-20 nm |
| 15 um 間距的范圍 | 2.5 nm- 20 nm | |
| 掃描布局 | 圖像拼接包含由 91 個(gè)以六邊形模式排列的子圖像 | |
| 可調(diào)整相鄰掃描區(qū)域的重疊度 | ||
| 載物臺(tái)和樣品 | ||
| 載物臺(tái) | 類型 | 步進(jìn)載物臺(tái) |
| 可用行程范圍 xy/z | 100/100/30 mm | |
| 可重復(fù)性 XY | ≤ ±3 μm | |
| 放置時(shí)間 | S 1.5 s | |
| 樣品要求 | 在 xY 中的最大尺寸 | 100 x 100 mm2 |
| 最大高度 | ≤ 30 mm | |
| 最大平整度 | ≤ 500 nm/100 μm(峰值到峰值) | |
| 最大重量 | ≤ 0.2 kg | |
| 樣品更換時(shí)間 | 帶有樣品交換室 | ≤ 5 min |
| 軟件 | ||
| 用戶界面 | 用于 MultiSEM 的 ZEN | |
| 應(yīng)用編程接口(API) | 用于自定義的工作流開(kāi)發(fā) | |
| Shuttle g Find 功能 | 從不同的成像方式(如光學(xué)顯微鏡或單光束掃描電子顯微鏡)可靠地轉(zhuǎn)移樣品坐標(biāo) | |
| 性能監(jiān)控 | 檢查所有相關(guān)的系統(tǒng)參數(shù)，如真空壓力或光學(xué)器件對(duì)準(zhǔn)質(zhì)量 | |
| 平行軟件結(jié)構(gòu) | 分布式圖像采集 | |
| 數(shù)據(jù)庫(kù)支持 | 用于工作流和數(shù)據(jù)管理 | |
| 自動(dòng)校準(zhǔn)功能 | 自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散和探測(cè)器均衡化等 | |
| 圖像采集工作流 | ||
| 圖形化的實(shí)驗(yàn)設(shè)置 | 基于感興趣區(qū)域選擇的圖像 | |
| 自動(dòng)切片檢測(cè)(可選) | 適用于連續(xù)切片成像的快速工作流設(shè)置 | |
| 互動(dòng)要求 | 最多1小時(shí) /24 小時(shí)專用于光束對(duì)準(zhǔn)和校準(zhǔn)的用戶互動(dòng) | |
| 計(jì)算機(jī)硬件 | ||
| 主要控制器 | ≥4核 CPU(64 位)，≥32 GB DDR,≥1TB HD，最少2個(gè)1 Gbit 以太網(wǎng)接囗 | |
| 主要控制器的操作系統(tǒng) | Windows”10(64位) | |
| 顯示屏 | 2 臺(tái)顯示器，1920x1080 像素，24" | |
| 圖像采集 | 12 臺(tái)計(jì)算機(jī)，在 19"機(jī)架上 | |
| 圖像采集計(jì)算機(jī) | ≥4核 CPU(64位)，氵32 GB DDR3，1 Gbit 以太網(wǎng)，10 Gbit 以太網(wǎng)與客戶網(wǎng)絡(luò)連接 | |
| 到客戶網(wǎng)絡(luò)的數(shù)據(jù)傳輸速度 | > 10 Gbit 以太網(wǎng) | |
| 真空系統(tǒng) | ||
| 樣品室真空泵 | 渦輪分子泵(> 260 L/s);無(wú)油渦旋泵 | |
| 樣品室操作真空度 | ≤ 1x10-5mbar | |
| 監(jiān)控 | 自動(dòng)監(jiān)控所有相關(guān)的真空度 | |
性能特點(diǎn)：
成像速度極快
自動(dòng)大區(qū)域圖像采集
宏觀信息下的納米級(jí)細(xì)節(jié)
低噪點(diǎn)高襯度圖像
電子顯微鏡速度
多條電子束并行，為您帶來(lái)出色的總體成像速度，在4 nm像素大小下采集1 mm2的區(qū)域僅需幾分鐘。憑借每小時(shí)超過(guò)1 TB的出色采集速度，可在納米級(jí)分辨率下對(duì)大體積物體（> 1 mm3）進(jìn)行成像。 優(yōu)化的探測(cè)器會(huì)高效收集二次電子信號(hào)，為您在低噪點(diǎn)水平下提供高襯度圖像。
以納米級(jí)分辨率對(duì)大型樣品進(jìn)行成像
不必再為實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率而犧牲樣品尺寸。MultiSEM配備了一個(gè)覆蓋10 cm × 10 cm區(qū)域的樣品載具，并可全天候連續(xù)運(yùn)行?，F(xiàn)在，您可對(duì)整個(gè)樣品進(jìn)行成像，獲取包含宏觀信息的精細(xì)圖像，探索您所需要的一切，探尋科學(xué)問(wèn)題的答案。
配備ZEN成像軟件的電子顯微鏡
通過(guò)將ZEN引入MultiSEM，我們將蔡司光學(xué)顯微鏡的標(biāo)準(zhǔn)化軟件帶入了電子顯微鏡的世界。以一種簡(jiǎn)單直觀的方式操控MultiSEM：智能自動(dòng)調(diào)節(jié)程序助您捕獲具有高分辨率和高質(zhì)量的出色圖像。您可以快速設(shè)置復(fù)雜的自動(dòng)圖像采集流程，將其用于您的樣品成像。
多條電子束和探測(cè)器并行
MultiSEM運(yùn)用了多條電子束（綠色：照明通路）和探測(cè)器并行。微調(diào)探測(cè)通路（紅色）能夠收集大量的二次電子（SE）用于成像。電子束呈六邊形排列，每條電子束在一個(gè)樣品位置執(zhí)行同步掃描程序，以此獲得單個(gè)子圖像，再通過(guò)合并所有圖像拼接生成整幅圖像。并行的計(jì)算機(jī)設(shè)置程序用于快速記錄數(shù)據(jù)，以保證達(dá)到高的整體成像速度。在MultiSEM系統(tǒng)中，圖像采集和工作流程控制獨(dú)立。
應(yīng)用范圍：
生物研究、生物樣品
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