WAU羅茨泵
2025-08-12
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WAU羅茨泵核心型號(hào)與技術(shù)參數(shù)?
?關(guān)鍵設(shè)計(jì)?:全系列標(biāo)配?旁通閥系統(tǒng)?,支持大氣壓?jiǎn)?dòng),抽空時(shí)間縮短30%
WAU羅茨泵技術(shù)優(yōu)勢(shì)?
?高效節(jié)能?
風(fēng)冷設(shè)計(jì)無(wú)需外接冷卻水,能耗比傳統(tǒng)水冷泵低40%
變頻調(diào)速兼容性(如WAU 251提速至4200rpm),工況適配性提升50%
?無(wú)油密封?
罐裝電機(jī)(Canned Motor)隔絕潤(rùn)滑油污染,滿足半導(dǎo)體、光伏鍍膜等高純度工藝要求
氟橡膠密封件耐受含氧/腐蝕性氣體(如CVD工藝中的蝕刻氣體)
?模塊化維護(hù)?
齒輪箱與泵腔隔離設(shè)計(jì),潤(rùn)滑油不受介質(zhì)污染,更換周期延長(zhǎng)至4000小時(shí)
立式/臥式快速切換,節(jié)省設(shè)備布局空間
維護(hù)與故障預(yù)防?
?強(qiáng)制保養(yǎng)項(xiàng)?
每運(yùn)行2000小時(shí)更換軸承及機(jī)械密封,使用原廠LVO 100/210潤(rùn)滑油
清洗泵腔需用5%酸堿液,禁用顆粒研磨劑
?運(yùn)行禁止?
連續(xù)壓差>100mbar會(huì)導(dǎo)致轉(zhuǎn)子過熱變形(需聯(lián)鎖壓力傳感器)
旁通閥開啟時(shí)間≤3分鐘,避免電機(jī)過載
?升級(jí)選項(xiàng)?
加裝磁懸浮軸承:機(jī)械損耗降40%,免維護(hù)周期突破8000小時(shí)