產(chǎn)品簡介
    OWT-200采用PHYS*技術(shù)，對透明、半透明、不透明幾乎所有的材料的厚度，TTV，LTV,彎曲度，平整
度進行無接觸測量，其對透明、半透明材料的高精度精確測量的性價比在同類測試儀器中是*的。
特征
■無接觸無損傷測量
■高精確度及重復(fù)性
■測量材料范圍廣，透明、半透明、不透明幾乎所有材料的
厚度/彎曲度/平整度/LTV/TTV
■抗干擾強，穩(wěn)定性好                                      
■強大的工控機控制和大屏幕顯示
■一體化設(shè)計操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定
■為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供精確的無接觸測量
■超高測試速度

 
技術(shù)指標
      ■測試尺寸：50mm-200mm.
        ■厚度測試范圍：1000 um，可擴展到1700 um
  ■ 厚度測試精度：+/-0.1um
 ■ 厚度重復(fù)性精度：0.050um
  ■ TTV 測試精度: +/-0.1um
 ■ TTV重復(fù)性精度: 0.01um
  ■ Warp/Bow精度: 0.2um
  ■ Warp/Bow重復(fù)度: 0.5um
  ■測量時間: <100秒
  ■ 材料：透明、半透明、不透明幾乎所有的材料
  ■ 尺寸: 560X650X400mm
  ■ 電源：220V 50HZ  300W

       
 主要客戶：歐洲、美洲、中國臺灣等地區(qū)藍寶石生產(chǎn)企業(yè)