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CVD系統(tǒng)

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我司專為國內(nèi)高校實(shí)驗(yàn)室以及*科研機(jī)構(gòu),提供實(shí)驗(yàn)用真空/氣氛電爐系列的生產(chǎn)廠家。各系列產(chǎn)品國內(nèi)的大專院校、科研院所、工礦企業(yè)的實(shí)驗(yàn)室及各級檢測中心。

公司主要產(chǎn)品:

1、CVD系統(tǒng)爐   快速退火爐 石墨烯*爐

2、 箱式電爐(1000、1200、1300、1600度)

3、 1200開啟式真空/氣氛管式電爐:單溫/雙溫/三溫/五溫區(qū)管式爐、多工位回轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐。

4、 1400度真空/氣氛管式電爐:單溫區(qū)管式爐、立式管式爐

5、 1600度真空/氣氛管式電爐:單溫/雙溫/三溫區(qū)、立式管式爐

6、 1400/1600度真空/氣氛管式電爐:梯度爐雙溫區(qū)、梯度爐三溫區(qū)

7、 1400和1600度升降式坩堝電爐

8、 干燥箱系列

9、 氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)、氣體浮子流量控制系統(tǒng)

10、 中真空系統(tǒng),高真空系統(tǒng)

11、計算機(jī)集散控制系統(tǒng)

         傳統(tǒng)的氣路法蘭連接,需要利用4~6個緊固螺栓將法蘭與端蓋連接在一起。在安裝法蘭的時候往往不能一個人進(jìn)行操作。而且在實(shí)驗(yàn)時的取放物料過程中還要重復(fù)以上的動作,每一次都要松緊緊固螺栓,非常繁瑣。如果緊固螺栓在緊固時用力不當(dāng)還有可能造成漏氣現(xiàn)象,甚至將爐管損壞。但我廠生產(chǎn)的纖維真空氣氛管式電爐在氣路總成部分屬于國內(nèi)*地位和自有產(chǎn)品。它具有全不銹鋼快速鏈接法蘭,能夠簡單的拆卸擋板裝取實(shí)驗(yàn)樣本,為操作者節(jié)省了大量的時間。法蘭和爐管只在*次安裝的時候固定牢固,以后只要拆裝卡箍和擋板就可實(shí)行裝取實(shí)驗(yàn)樣本了,避免了反復(fù)拆裝法蘭對爐管造成損害和密封不嚴(yán)達(dá)不到密封環(huán)境的要求。這是國內(nèi)其他同類產(chǎn)品所不具備的條件。

期待與您進(jìn)一步溝通,為您提供實(shí)驗(yàn)室電爐工作系統(tǒng)專業(yè)的解決方案

真空氣氛管式爐,旋轉(zhuǎn)管式爐,多工位回轉(zhuǎn)爐,箱式馬弗爐,真空CVD系統(tǒng),快速退火爐,立式管式爐,干燥箱,高溫氣氛箱式爐,中環(huán)實(shí)驗(yàn)電爐

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CVD系統(tǒng)設(shè)備由沉積溫度控件、沉積反應(yīng)室、真空控制部件和氣源控制備件等部分組成亦可根據(jù)用戶需要設(shè)計生產(chǎn),CVD系統(tǒng)除了主要應(yīng)用在碳納米材料制備行業(yè)外,現(xiàn)在正在使用在許多行業(yè),包括納米電子學(xué)、半導(dǎo)體、光電工程的研發(fā)、涂料等領(lǐng)域 
CVD成長系統(tǒng)是利用氣態(tài)化合物或化合物的混合物在基體受熱面上發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而在基體表面上生成不揮發(fā)涂層的一種薄膜材料制備系統(tǒng)
CVD系統(tǒng)產(chǎn)品的特點(diǎn):
1 CVD系統(tǒng)兼容、常壓、微正壓多種主流的生長模式
2 CVD系統(tǒng)可以在1000Pa-0.1Pa之間任意氣壓下進(jìn)行石墨烯的生長
3 CVD系統(tǒng)使用計算機(jī)控制,可以設(shè)置多種生長參數(shù)
4 CVD系統(tǒng)可以制備高質(zhì)量,大面積石墨烯等碳材料,尺寸可達(dá)數(shù)厘米,研究動力學(xué)過程
5 CVD系統(tǒng)沉積效率高;薄膜的成分精確可控,配比范圍大;厚度范圍廣,由幾百埃至數(shù)毫米,可以實(shí)現(xiàn)厚膜沉積且能大量生產(chǎn)

 

 

產(chǎn)品名稱

高真空CVD系統(tǒng)

產(chǎn)品型號

ZX-03A(擴(kuò)散泵)

ZX-04A(分子泵)

使用真空范圍

1X10^-2Pa-1X10^1Pa

1X10^-3Pa-1X10^1Pa

真空規(guī)管

熱偶規(guī)管、電離規(guī)管

控制方式

自動控制

載重量

150Kg

工作電源

AC220V±5% 50Hz

真空泵參數(shù)

雙極真空泵理論極限真空度 0.6Pa(6X10^-1Pa ),抽氣速率4L/S,額定電壓220V 功率0.55KW

分子真空泵理論極限真空度 0.0000006Pa(6X10^-7Pa),抽氣速率160L/S,額定電壓220V 功率2KW

擴(kuò)散真空泵理論極限真空度 0.0000006Pa(6X10^-3Pa),抽氣速率160L/S,額定電壓220V 功率2KW

外形尺寸(深x寬x高)

600x6500x1080mm

600x6500x1050mm

重量

170Kg

150Kg

標(biāo)準(zhǔn)配置

真空規(guī)管2支,波紋管1支,KF卡箍4個,四通1個,高真空手動擋板閥1個

質(zhì)量保證

整機(jī)保修1年,不包含真空規(guī)管

配套產(chǎn)品

SK系列真空/氣氛管式電爐、SX系列真空/氣氛箱式電爐、真空規(guī)管、氣體流量控制柜



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