激光切割機加工過程中，有著兩種制造系統(tǒng)。這種非熱材料去除機制的一個重要特征就是，因為在刻蝕過的基材中存在zui小的能量沉積，所以基材的溫度增加也是zui小的。通過測量發(fā)現(xiàn)，用傳統(tǒng)的納秒脈沖激光切割機中激光輻照見方的牙齒切片，切片的整體溫度上升了40℃以上。而對于飛秒脈沖激光，溫度上升不到2℃.這在實際的牙科應(yīng)用中是很重要的。我們知道，牙齦神經(jīng)的溫度一旦超過正常體溫5℃以上時就會造成*性損害。因此，采用納秒激光系統(tǒng)時就得對牙齒進行冷卻；而采用co2激光系統(tǒng)就不需要了。在任何情況下，若將激光切割機中激光的能量通量都調(diào)節(jié)至每次脈沖能去除材料約深時，對于納秒脈沖其能量通量要求達到；而對于飛秒脈沖則只需.

    總結(jié)出目前激光微制造系統(tǒng)包括兩大類的加工方式，一是掩?？s小投影方式，二是直寫方式。    激光切割機加工效果赫然，下面分析在熔融石英材料上面的效果，給出的是單發(fā)脈沖加工熔融石英表面的一個例子。實驗中，為了證明在超短脈沖激光切割機加工的時間里材料本身的去除閾值，所用脈沖的激光強度可任意調(diào)節(jié)。就是說，只要激光切割機中激光的強度在這個閾值強度之上，材料就能被去除。將脈沖寬度調(diào)節(jié)到1ns，而其他的條件保持不變，此時，熔融石英表面被打碎。利用超短脈沖加工的非線性閾值特性，再通過激光束強度的空間整形，能實現(xiàn)一定形狀要求的切割和打孔，比如，高深寬比的孔已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn)。實際上，深寬比和有形孔的生成還受宏觀介電材料波導(dǎo)特性的附加因子的支配，這已超出本書的范圍。

    超短脈沖激光切割機激光在加工過程中單脈沖的能量沉積量很低，為彌補這一缺陷，人們采用高重復(fù)頻率的激光，而且還不必對被加工材料部分進行外部冷卻。雖然每次脈沖只能去除一個極小的深度但脈沖的高重復(fù)頻率能*地提高去除率。例如，對于激光切割機中激光強度超過損傷閾值、重復(fù)頻率為強度為的脈沖激光入射到熔融石英時，其溫度（a）和壓力（b）隨時間變化的計算結(jié)果?？梢姺逯蛋l(fā)生在lps處lkHz的脈沖，每秒鐘的去除深度可超過在下一個脈沖到達之前，膨脹的等離子體內(nèi)獲得的高溫能夠保證蒸發(fā)物質(zhì)*從加工面附近消除。例如，蒸氣即使以這么低的速度膨脹，在后（lkHz重復(fù)頻率）的下一個脈沖到來之前，已遠離加工表面左右。如采用傳統(tǒng)的納秒或微秒激光，在脈沖期間蒸氣仍要產(chǎn)生。對于納秒激光，因為入射光會被蒸氣等羽輝物質(zhì)散射和吸收，所以光與固體表面的耦合會減弱。