技術(shù)參數(shù)
1.中階梯光柵，大面積、程序化固態(tài)檢測(cè)器陣列L-PAD
2.波長(zhǎng)范圍165-1100nm，可選配120-165nm段波長(zhǎng)，分辨率：<0.005nm（200nm）。
3.焦距800mm，色散率0.06nm/mm（200nm）
4.高效穩(wěn)定40.68MHZ RF發(fā)生器，水冷
5.全自動(dòng)氬氣質(zhì)流控制，WINICP視覺導(dǎo)航軟件

 主要特點(diǎn)
1.大面積、程序化固態(tài)檢測(cè)器陣列L-PAD，較原CID檢測(cè)器大4倍
2.高色散率、高分辨率、高準(zhǔn)確度
3.檢測(cè)器像素≥100萬，全譜直讀檢測(cè)，一次曝光完成，分析速度快
4.非破壞性智能數(shù)據(jù)讀取處理，超級(jí)檢出能力
5.一體式的光源設(shè)計(jì)，超穩(wěn)定光學(xué)結(jié)構(gòu) ，提供的穩(wěn)定性
6.實(shí)現(xiàn)F、Cl、Br、I、N等鹵素分析功能
7.TRA（時(shí)序分析）實(shí)現(xiàn)元素形態(tài)分析功能