1，采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級(jí)的分辨率

2，測(cè)量具有非破壞性，測(cè)量速度快，精確度高

3，測(cè)量范圍廣，可測(cè)透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；

4，尤其適合測(cè)量高坡度高曲折度的材料表面

5，不受樣品反射率的影響

6，不受環(huán)境光的影響

7，測(cè)量簡(jiǎn)單，樣品無(wú)需特殊處理

8，Z方向,測(cè)量范圍大：為27mm

主要技術(shù)參數(shù)：

1，掃描范圍：150mm×150mm(zui大可選600mm*600mm)

2， 掃描步長(zhǎng)：0.1μm

3，掃描速度：20mm/s

4， Z方向測(cè)量范圍：27mm

4， Z方向測(cè)量分辨率：2nm

產(chǎn)品應(yīng)用：

MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽(yáng)能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和*材料的研發(fā)