Pentagon QIII+ v2i Pres Rev2_03_0001. 表面微粒子計(jì)量器

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公司名稱 蘇州耀群科技股份有限公司
品牌
型號 Pentagon QIII+ v2i Pres Rev2_03_0001.
產(chǎn)地美國
廠商性質(zhì) 代理商
更新時(shí)間 2017/7/6 16:59:38
訪問次數(shù) 1428

產(chǎn)品標(biāo)簽

表面微粒子計(jì)量器小型環(huán)境微粒子、溫濕度、壓差、風(fēng)速監(jiān)控系統(tǒng)

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公司介紹 主營產(chǎn)品

蘇州耀群凈化科技有限公司主要專業(yè)于各項(xiàng)自動(dòng)控制系統(tǒng)與各式廠務(wù)制程系統(tǒng)整合工程（FMCS and System Integration）與微污染量測相關(guān)儀器銷售,技術(shù)應(yīng)用及售后服務(wù)，其中代理美國瑞士 Hach Company旗下各品牌,如 MetOne、HIAC、Anatel,美國Pentagon Surface Particle Counter, Matec Applied Sciences, 澳洲AQUADIAGNOSTIC, 義大利HANNA專業(yè)水質(zhì)分析儀器、連續(xù)式控制器、ABB線上水質(zhì)量測系統(tǒng)、美國奇異（GE）旗下之CCTV.門禁監(jiān)視系統(tǒng)及今年1月新增之美國專業(yè)量測儀器TSI等世界各相關(guān)領(lǐng)域之*量測儀器。

展開

耀群科技專業(yè)代理半導(dǎo)體測試、分析設(shè)備及冷凍空調(diào)無塵室工程Particlecounter檢驗(yàn)等儀器。並備有客戶服務(wù)中心提供維修、校正代測及租借之服務(wù).微粒子計(jì)數(shù)器應(yīng)用於無塵室工程監(jiān)控,DIWater,化學(xué)品,高壓氣體及製程設(shè)備各種微粒子監(jiān)控.並提供維修,校正、技術(shù)諮詢,租借及代測工程服務(wù)因此在Particle&Defect方面,耀群科技提供完整解決的方案,相信可以成為貴公司好的技術(shù)顧問夥伴。

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＊Surface Particle Detector, Mini-environmental Monitoring System

表面微粒子計(jì)量器, 小型環(huán)境微粒子、溫濕度、壓差、風(fēng)速監(jiān)控系統(tǒng)

美國Pentagon Technologies 的 QIII+ 應(yīng)用于設(shè)備機(jī)臺( PVD, CVD,.., Etch, Diffusion ) Chamber 內(nèi)Surface Particles 量測, 可降低產(chǎn)品Defect和Test Wafer的使用量, 以及工作臺面積臺表面潔凈度..等的驗(yàn)證. 此已為目前機(jī)臺維護(hù)作業(yè)時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)工具之一. Q-view 為一針對Mini-environment, Factory Interface 等

Critical Area 可量測 Particle, △P, TRH, Velocity..的監(jiān)視模塊, 可實(shí)時(shí)反應(yīng)出Contamination Issue.

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