UL1000 氦質(zhì)譜檢漏儀
- 公司名稱 深圳市利達(dá)科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) UL1000
- 產(chǎn)地 德國(guó)INFICON公司
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2017/7/29 17:51:21
- 訪問(wèn)次數(shù) 535
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德國(guó)INFICON公司 氦質(zhì)譜檢漏儀
UL1000氦質(zhì)譜檢漏儀
Ø CAL(智能漏率計(jì)演算)確保在全部測(cè)量范圍內(nèi)閃電般的快速響應(yīng)
Ø 可旋轉(zhuǎn)顯示器/控制界面和可選遙控手持控制器提高操作的靈活性
Ø 更為方便的移動(dòng)式
Ø 連接口均位于一側(cè)
Ø 可靠性更高的真空系統(tǒng)
Ø 通過(guò)軟件升級(jí)可始終保持UL1000的*性能
Ø 離子源三年保修期
Ø UL1000的詳細(xì)資料:
Ø INFICON UL1000 型氦檢漏儀尤其適用于元件精確檢漏的要求,靈活性測(cè)試,高靈敏度,快速于精確的結(jié)果,快速啟動(dòng),移動(dòng)性和系統(tǒng)的可靠性。
UL1000符合做微電子工業(yè)市場(chǎng)的要求。其特點(diǎn)從堅(jiān)固的金屬外殼并帶有適用于潔凈室的輪子,還有I-CAL(智能化漏率計(jì)算系統(tǒng)),的 噪聲抑制濾波,柔性均值算法和漂移抑制功能。用于消除在10-11至10-12超高靈敏漏率范圍中長(zhǎng)時(shí)間平衡的程序。
系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的*自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護(hù)性功能。UL1000的通風(fēng)系統(tǒng)不會(huì)干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動(dòng)。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。
UL1000具有可轉(zhuǎn)動(dòng)的控制界面,裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測(cè)量結(jié)果于狀態(tài)信息,這樣可遠(yuǎn)距離方便地觀察讀值。
應(yīng)用:
Ø 半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護(hù),該設(shè)備本身帶或未帶有真空泵
Ø 工藝氣體系統(tǒng)的檢測(cè)與安裝
Ø 元器件在組裝前的漏率測(cè)試
Ø 要求高抽速、高靈敏度以及清潔測(cè)試條件的應(yīng)用場(chǎng)合
技術(shù)參數(shù)
zui小可檢漏率(按AVS2.1和EN1518標(biāo)準(zhǔn)) | <5×10-12mbar.l/s |
zui小可檢漏率(吸入器模式) | <3×10-8mbar.l/s |
入口壓強(qiáng) 粗檢模式 精檢模式 超精檢模式 | 15 mbar 2 mbar 0.4 mbar |
在抽空過(guò)程中的抽速 | 25立方米/小時(shí) |
入口壓強(qiáng)對(duì)氦氣抽速 粗檢模式 精檢模式 超精檢模式 | |
可檢質(zhì)量數(shù) | 2、3、4amu, 氫,3氦,氦 |
電源電壓 | 110-120V;220-241V |
重量 | 110公斤; |
尺寸,包括手把(長(zhǎng)×寬×高) | 1068×525×850毫米 |