RGA 殘余氣體分析儀
- 公司名稱 深圳市利達(dá)科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) RGA
- 產(chǎn)地 美國(guó)EXTORR公司
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2017/7/17 15:32:04
- 訪問(wèn)次數(shù) 1875
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美國(guó)EXTORR公司 四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀(RGA)
特點(diǎn)及應(yīng)用:
•操作簡(jiǎn)單
•在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體
•定性或定量分析監(jiān)測(cè)濺射鍍膜反應(yīng)工藝過(guò)程中真空室內(nèi)的氣體分壓強(qiáng)
•優(yōu)化工藝過(guò)程參數(shù),提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量
•對(duì)真空系統(tǒng)檢漏
在工藝中的效果
•改善質(zhì)量
•提高流片量
•減少停機(jī)時(shí)間
•改進(jìn)工藝
•縮小工藝周期
•降低成本
測(cè)量氣體范圍 XT100(M) XT200(M) XT300(M) | 1到100 amu 1到200 amu 1到300 amu |
檢測(cè)類型 | 法拉第杯(FC)或電子倍增器(EM) |
靈敏度(A/mbar) | 5×10-4torr,法拉第杯,氮28, 10%峰高 |
分辨率 | 1 amu ,10%峰高 |
zui小可檢分壓強(qiáng) | 10-11 torr或10-14 torr(電子倍增器),氮28,10%峰高 |
工作范圍 | 10-4 torr到超高真空 |
工作環(huán)境zui高溫度 | |
烘烤溫度 | |
通訊端口 | RS |
軟件運(yùn)行環(huán)境 | Windows® 2000或XP |