電子束蒸發(fā)鍍膜機

型號：TSV1300

我公司生產(chǎn)的自動光學真空鍍膜機具有石英晶體膜厚自動控制及光學膜厚自動控制兩種方式,通過PLC和工控機聯(lián)合實現(xiàn)對整個鍍膜過程的全程自動控制,包括真空系統(tǒng),烘烤系統(tǒng),蒸發(fā)過程和膜層厚度的監(jiān)控功能,可實現(xiàn)無人值守的自動控制,從而提高了工作效率和保證產(chǎn)品質(zhì)量的*性和穩(wěn)定性.

應(yīng)用范圍：主要用于光學膜及電學膜領(lǐng)域,適用于塑料,陶瓷玻璃晶體等,基體的鍍膜,如:紅外膜,寬帶增透膜,透明導電膜,干涉截止濾光片偏振膜,金屬化合物膜,VCD分光膜,各類激光膜。

基本參數(shù)：

● 極限真空：3×10-4Pa

● 恢復真空時間：大氣至4×10-3Pa≤15min

● 采用KT-630型擴散泵（22000L/s）兩臺（帶移相溫度控制），HGL－150型滑閥泵一臺+ZJP-600羅茨泵一臺，維持泵2X－30型機械泵（30L/s）一臺；配備防湍流裝置

● 真空程序有自動和手動兩種模式。日本歐姆龍型PLC控制所有泵閥動作；高閥、低閥、預閥，到位信號送入PLC控制信號；PLC程序帶故障報警功能，如氣壓、水流、機械泵等保護及報警；

● 工件轉(zhuǎn)動：采用磁流體密封轉(zhuǎn)動裝置

● 工件烘烤：桶狀上烘烤,三點控溫,加熱器采用管狀加熱器，配溫控儀

● E型電子槍兩支，槍功率10KW/支；束偏轉(zhuǎn)角270°；陽極電壓為-4KV～-10KV連續(xù)可調(diào)，穩(wěn)壓精度：±0.5%；束流：0－1000mA可調(diào)；具有X、Y方向掃描，掃描波形有三角波、正弦波、矩形波可選擇，并能存儲每一位坩堝的掃描參數(shù)。電子槍主體有屏蔽罩，電子槍輸出功率穩(wěn)定。

● 配備美國Inficon的MDC360C型或SQC310石英晶體膜厚儀。

● 12英寸的觸摸屏，可編程控制器（PLC）*控制方式及其相關(guān)電氣控制單元對設(shè)備真空系統(tǒng)、蒸發(fā)源系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、工件轉(zhuǎn)動系統(tǒng)、膜厚監(jiān)控系統(tǒng)等進行監(jiān)測和控制，并能把石英晶控的功能在觸摸屏上進行操作。