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單溫區(qū)GSL-1100X-6-S 6單溫區(qū)CVD真空管式爐

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電阻爐真空管式爐

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  合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年,是由一群來自麻省理工學(xué)院和加州大學(xué)伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè)。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實驗室成套設(shè)備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機、壓片機、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機、自動研磨、拋光機)。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品,其中包括:箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實驗室設(shè)備?,F(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實驗室設(shè)備的*,為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設(shè)計*、性能優(yōu)異,質(zhì)量可靠,性價比高,環(huán)保節(jié)能、返修率低,遠銷到歐洲,美國,日本,德國等許多國家,廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、冶金、醫(yī)學(xué)、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域,受到客戶*好評。
 
  科晶公司秉承"以人為本、技術(shù)為導(dǎo)、誠信為基、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進步和社會發(fā)展做出貢獻。
 

真空管式爐,高溫箱式爐,高速震動球磨機,RTP快速退火爐,高溫高壓爐,涂覆機,電池制備設(shè)備等

    GSL-1100X-6-S 是一款爐管內(nèi)徑為  6" 的真空管式爐 , 它可以在zui大5“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 該爐的zui高工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,溫控精度: ±1°C。


技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)

  • 雙層殼體,循環(huán)風(fēng)冷
  • 爐體表面溫度< 70 ºC
  • 采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能

工作電壓

AC 220V

功率

8KW

爐管規(guī)格

  • 6" O.D x  40" 
  •  標配內(nèi)包含一只石英管多余的管子可單獨訂購 (點擊下圖查看)

加熱元件

NiCrAl 電阻絲

工作溫度

  • 工作溫度: 400 -1100°C
  • 升降溫速率: 10°C/min(max)

加熱區(qū)

  • 加熱區(qū)總長:    600mm (24'')
  • 恒溫區(qū)長度中心200mm (精度±1°C)
  • 800℃時爐膛溫度分布曲線點擊下圖查看)    

控溫儀

  • 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器
  • 設(shè)有一個額外的溫度校準檢測系統(tǒng)
  • K型熱電偶測溫.
  • 溫控精度: ±1°C
  • 軟件接口、模塊和PC機不在標配內(nèi)需額外訂購
  • 可選: PC接口和軟件

密封法蘭和進氣接口

  • 不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達到  (機械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr).  真空泵不包含在內(nèi)
  •  右端法蘭上設(shè)有一個鎧裝熱偶檢測口和KF40真空接口.   如需對爐膛溫度進行校準請訂購36" 長 x 1/4"dia  K 型熱電偶)
  • 包括兩個高純氧化鋁或石英管堵,設(shè)備使用時右端必須安裝管堵阻止熱的輻射

產(chǎn)品尺寸

爐體:  1000L x 680W x 920 H  mm

凈重

250Kg

保修期

整機保修一年,相關(guān)耗材除外。(如密封圈、爐管等)

質(zhì)量認證

   Certificate



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