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PUR-PS Michell高純氣微量濕度異動(dòng)變送器PUR-PS
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 香港奧盛蘭能源服務(wù)有限公司
- 品牌
- 型號(hào) PUR-PS
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2017/7/21 2:15:47
- 訪問(wèn)次數(shù) 791
產(chǎn)品標(biāo)簽
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專(zhuān)為半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)而設(shè)計(jì)，適合多點(diǎn)安裝的微量水分異動(dòng)預(yù)警系統(tǒng)
特點(diǎn)：
◆ 快速響應(yīng)ppb水平的微量濕度變化
◆ 高靈敏度，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)
◆ 小巧經(jīng)濟(jì)，適合多點(diǎn)安裝
◆ 報(bào)警點(diǎn)設(shè)置可編程
◆ 交通燈直觀狀態(tài)顯示
◆ MODBUS 兼容
典型運(yùn)用：
◆ 在線檢測(cè)半導(dǎo)體工業(yè)高純氣的濕度
技術(shù)參數(shù)：
| 響應(yīng)時(shí)間 | <1Min （ 在1ppb基礎(chǔ)上的20ppb變動(dòng)） |
| 濕度范圍 | 1ppb~20,000ppm |
| 工作壓力 | 0~10Bar |
| 壓力等級(jí) | 30 MPa |
| 泄漏測(cè)試 | 0~9Mbar S-1 |
| 工作溫度 | +5~+40°C |
| 氣室材料： | 冷拉不銹鋼, 內(nèi)部超微米級(jí)電拋光 |
| 防護(hù)等級(jí)： | IP 65 |
| 氣路接口： | 1/4’’VCR |
| 流量等級(jí)： | 建議為1~10 NL/Min |
| 工作電源： | 20~28VDC |
| 輸出信號(hào)： | 4-20mA（RS485 可選） |
| 質(zhì)量保證期： | 12個(gè)月 |
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