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OTF-1500X-80-III-4CV-PE 三溫區(qū)1500oC PECVD管式爐

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  合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年,是由一群來自麻省理工學院和加州大學伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè)。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實驗室成套設(shè)備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機、壓片機、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機、自動研磨、拋光機)。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品,其中包括:箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實驗室設(shè)備?,F(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實驗室設(shè)備的*,為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設(shè)計*、性能優(yōu)異,質(zhì)量可靠,性價比高,環(huán)保節(jié)能、返修率低,遠銷到歐洲,美國,日本,德國等許多國家,廣泛應(yīng)用于物理、化學、冶金、醫(yī)學、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域,受到客戶*好評。
 
  科晶公司秉承"以人為本、技術(shù)為導(dǎo)、誠信為基、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學進步和社會發(fā)展做出貢獻。
 

真空管式爐,高溫箱式爐,高速震動球磨機,RTP快速退火爐,高溫高壓爐,涂覆機,電池制備設(shè)備等


技術(shù)參數(shù)

三溫區(qū)開啟式1500℃管式爐

  • zui高工作溫度1500
  • 連續(xù)使用溫度1400
  • 三個溫區(qū)分別由三個溫控系統(tǒng)來控制,都可設(shè)置30段升降溫程序
  • 每個溫區(qū)長度為200mm
  • 總溫區(qū)長度為600mm
  • 爐管為高純剛玉管
  • 爐管尺寸:84 O.D x 73 I.D x 1500mm L 
  • 輸入電源: 208 – 240V AC,單相
  • zui大功率:6.6KW
  • 配有一對不銹鋼真空密封法蘭,法蘭上帶有石英觀察窗口
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備加熱效率及反射率,同時延長儀器的使用壽命。

          (點擊圖片查看詳細資料)

射頻電源

  • 輸出功率:          5 -500W    ± 1% . 
  • 射頻頻率:          13.56 MHz    ±0.005% .
  • 反射功率:          zui大 200W 
  • 匹配:                自動
  • 射頻接口:       50 Ω, N-type
  • 噪音:                    <50 dB. 
  • 冷卻:                  風冷
  • 電源:                AC   208-240V, 50/60Hz 

防腐型真空計

 

  • 輸入電源   24V,1A  DC(配有一電壓轉(zhuǎn)換器)
  • 測量范圍   3.8x10-5 -1125 Torr.
  • 數(shù)據(jù)顯示   數(shù)字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數(shù)據(jù)顯示單位為torr
  • 接頭     1/8"NPT 接頭
  • 產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

真空系統(tǒng)

  • 采用TRP-12的雙旋真空泵極限真空10E-3 Torr 
  • KFD25 快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連.
  • 管內(nèi)真空可達10E-2 Torr 
     

質(zhì)量流量計混氣系統(tǒng)

  • 四個精密的質(zhì)量流量計(精度1.5% ) :數(shù)字顯示,自動控制.
  • MFC 1范圍:  0~100 sccm 
  • MFC 23:    0~200 sccm  
  • MFC 4范圍:   0~500 sccm 
  • 一個混氣罐,底部裝有泄廢液口
  • 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動控制4種氣體.
  • 進氣口: 41/4NPS. 
  • 出氣口: 4個 1/4NPS. 
  • 采用PLC控制流量計,通過觸摸屏進行控制

溫控系統(tǒng)

  • 三個溫區(qū)分別由三個溫控系統(tǒng)控制
  • 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序
  • 帶有超溫和斷偶保護
  • 控溫精度:+/- 1 ºC
  • 控溫儀表操作視頻
  • 可選;此款設(shè)備可以安裝控制模塊,將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦

外型尺寸

  • 爐體:550 x 380 x 520  mm 
  • 爐體下端移動柜:1800×600×600mm
  • 凈重:220 Lbs. 
  • 運輸重量:1200lbs

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終身維護,相關(guān)耗材除外如爐管,密封圈等易耗件

質(zhì)量認證

  CE Certified

  



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