產(chǎn)品型號

  1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV

主要特點(diǎn)

  1、雙層殼體，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<55℃。

  2、采用高純氧化鋁纖維，有效減少熱量損失。

  3、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率和使用壽命。

  4、采用PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序。

  5、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  管式爐

  1、電源：單相AC 208-240V   50/60Hz  6KW

  2、爐管：高純氧化鋁陶瓷管，外徑Φ100mm，內(nèi)徑Φ92mm，長1000mm

  3、加熱元件：1800℃硅鉬棒8根

  4、加熱區(qū)域：457mm

  5、恒溫區(qū)域：150mm

  6、工作溫度：zui高1650℃，連續(xù)工作1600℃

  7、zui大升溫速率：≤5℃/min

  8、控溫精度：±1℃

  9、熱電偶：B型

  10、不銹鋼真空法蘭：1對

  11、機(jī)械壓力表：1個(gè)

  12、針閥：2個(gè)

  13、連接器：KF-25，1個(gè)

  14、抽氣接口：KF-25轉(zhuǎn)KF-40

  15、卡套接頭：1/4″

  高真空機(jī)組

  1、電源：單相AC208-240V  50/60Hz  100-110W

  2、真空泵：德國Pfeiffer真空泵

  3、顯示屏：LCD數(shù)字顯示

  4、抽氣速率：N₂-33L/s，He-39L/s，H₂-32L/s

  5、工作范圍：1000mtorr-10^-7mtorr

  6、極限：10^-8mtorr（無泄漏）

  質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

  1、電源：單相AC208-240V  50/60Hz   18W

  2、功率：18W

   3、混氣箱：Φ80mm×120mm

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm，高真空機(jī)組600mm×600mm×700mm，質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)600mm×

              600mm×700mm