μsurf系列產(chǎn)品采用多孔共聚焦技術(shù)，結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤(pán)取代偵測(cè)器的孔洞，再將物鏡垂直移動(dòng)，以類(lèi)似斷層攝影方式，可在短時(shí)間(約幾秒)內(nèi)精確量測(cè)物體的三維數(shù)據(jù)。其測(cè)量方式是非接觸式，不會(huì)破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測(cè)量，也可以用顯微鏡測(cè)量的功能來(lái)觀測(cè)樣本，其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測(cè)量漸變較大的高度時(shí)，跟其他方法相比，可以更精確量測(cè)物體高度，建立3D立體影像，優(yōu)勢(shì)相當(dāng)明顯。 
      
      一個(gè)特殊改裝的固定工作臺(tái)可以承載大體積高重量的測(cè)試物體，結(jié)合一個(gè)可以自由移動(dòng)的滾輪式工作臺(tái)，μsurf 移動(dòng)式3D測(cè)量系統(tǒng)可以輕易的傳輸并且設(shè)置在任意一個(gè)地方進(jìn)行使用。μsurf 特別為大體積樣品的測(cè)量而開(kāi)發(fā)。例如，軋輥和車(chē)身。由于其便攜性，它非常適用于工廠的在線(xiàn)檢查。μsurf 移動(dòng)式3D測(cè)量系統(tǒng)只需幾分鐘準(zhǔn)備便可進(jìn)行測(cè)量，并且可以方便地架設(shè)在測(cè)試對(duì)象上--因?yàn)樗闹亓恐挥?公斤。根據(jù)不同測(cè)量要求可以編輯不同的應(yīng)用方案。配有鼻輪和專(zhuān)業(yè)解決方案軟件的μsurf 移動(dòng)式3D測(cè)量系統(tǒng)可滿(mǎn)足了各種各樣的測(cè)量任務(wù)。 


應(yīng)用 
μsurf系列用來(lái)測(cè)量表面物理形貌，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。μsurf 主要對(duì)大型樣品進(jìn)行測(cè)試，在以下幾個(gè)行業(yè)中被眾多企業(yè)廣泛使用： 
汽車(chē)行業(yè) 
印刷和造紙行業(yè) 
鋼鐵行業(yè) 
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技術(shù)參數(shù) 
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h 
測(cè)量時(shí)間：5~10秒 
測(cè)量原理：非接觸、共聚焦、可移動(dòng)，可以檢測(cè)大型的物體 
X/Y方向移動(dòng)范圍：50mmX50mm，馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，X/Y方向分辨率：0.3μm 
Z方向移動(dòng)范圍：35mm 
Z方向測(cè)量范圍：250μm，Z方向分辨率：< 10nm 
物鏡：10X、20X、50X、100X(可選) 
計(jì)算機(jī)：高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，功能強(qiáng)大且全面的軟件，有拼接功能 
工作電源：90-265 V, 50-60 Hz, input < 50 W（也可用電池做電源） 
材質(zhì)：鋼鐵、橡膠、大理石 
外型尺寸：380*110*115mm 
重量：5.5KG（不含防震拉桿箱） 
潔凈室等級(jí): Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)