NANO-MASTER(那諾-馬斯特)作為性的專業(yè)薄膜工藝系統(tǒng)的供應(yīng)商，提供的產(chǎn)品涵蓋了沉積、刻蝕、生長(zhǎng)、表面處理、清洗、空間仿真儀器測(cè)試等類別。

主要的設(shè)備包含有：

E-Beam電子束蒸發(fā)系統(tǒng)，Thermal熱蒸發(fā)系統(tǒng)；
PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)；
PLD脈沖激光沉積系統(tǒng)，DLC類金剛石沉積系統(tǒng)；
Sputering磁控濺射(DC&RF)系統(tǒng)；
Ion Beam離子束濺射/清洗/刻蝕/研磨系統(tǒng)；
RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)，DRIE深硅刻蝕系統(tǒng)；
ICP電感耦合等離子系統(tǒng)；
Plasma等離子清洗/改性/去膠系統(tǒng)；
ALD原子層沉積系統(tǒng)，PA-MOCVD系統(tǒng)；
CNT生長(zhǎng)系統(tǒng)，石墨烯生長(zhǎng)系統(tǒng)；
PIII等離子注入系統(tǒng)，RTP真空退火；
Megasonic兆聲清洗/刻蝕；
Device Testing Systems設(shè)備測(cè)試(空間仿真)；
Heated Platens等離子樣品臺(tái)等。

NANO-MASTER（那諾-馬斯特）的設(shè)備廣泛應(yīng)用于：LED領(lǐng)域，MEMS領(lǐng)域，納米技術(shù)領(lǐng)域，光電子學(xué)，光伏領(lǐng)域，研究開發(fā)、半導(dǎo)體領(lǐng)域，空間仿真學(xué)，新興技術(shù)等。