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CVD氣相沉積爐

具體成交價以合同協(xié)議為準

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株洲鑫韻科技發(fā)展有限公司是一家以半導體變流技術為依托,集科研開發(fā)、生產(chǎn)經(jīng)營為一體的科技型企業(yè)。公司堅持以人才為根本,以市場為導向,以*為依托的經(jīng)營理念,致力于中高頻感應加熱設備和工業(yè)控制設備的開發(fā)生產(chǎn)與推廣應用。高溫石墨化爐,碳化爐,熔煉爐,燒結爐等;我公司還從事非金屬及其復合材料、碳/碳復合材料的研制、生產(chǎn)、銷售和相關技術服務;各種工具、石墨、碳布、碳繩、碳氈、高導熱膜銷售.產(chǎn)品廣泛應用于航天、交通、機械、冶金、軌道交通機車車輛行業(yè)等幾十種加工制造行業(yè)中,并以優(yōu)質的產(chǎn)品、完善的服務贏得廣大用戶企業(yè)的信賴與贊譽。  公司的主要骨干技術人員均來自國營轉民企業(yè)中,經(jīng)過多年的發(fā)展,公司內部已擁有一批老中青技術專家和*的技術開發(fā)團隊,建立和完善了產(chǎn)品質量保證體系;公司外部擁有良好的經(jīng)濟發(fā)展環(huán)境和良好的配套服務設施,建立和完善了產(chǎn)品銷售和技術服務網(wǎng)絡,多年來,為各行業(yè)提供了優(yōu)質的產(chǎn)品和良好的售后服務。 在*的應用中,株洲鑫韻科技發(fā)展有限公司為各類用戶提供了無數(shù)堪稱經(jīng)典的技術和產(chǎn)品應用的解決方案,隨著技術和產(chǎn)品應用領域的不斷擴大和延伸,株洲鑫韻科技發(fā)展有限公司愿意接受各位新老用戶的批評指導,愿意為各位新老用戶繼續(xù)做好服務工作。將弘揚科技創(chuàng)新   節(jié)約資源的企業(yè)精神,恪守 “誠為上、信為本的原則,憑借著創(chuàng)新的設計、*的技術及高效的生產(chǎn),制造出更高質量的產(chǎn)品,為您提供更*的、更科學的電熱電爐應用技術。

石墨化爐,碳化爐,燒結爐,熔煉爐

CVD氣相沉積爐

化學氣相沉積爐應用領域

化學氣相沉積爐(沉積炭)可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。

化學氣相沉積爐產(chǎn)品規(guī)格

產(chǎn)品型號/規(guī)格W×H×L(mm)

600*600*1000

800*800*1200

1000*1000*1500

1200*1200*2500

1500*1500*3000

2500*2000*3600

裝載重量(KG)

350

800

1500

2500

5000

10000

zui高溫度(℃)

1500

1500

1500

1500

1500

1500

溫度均勻性(℃)

±7.5

±7.5

±7.5

±10

±10

±15

加熱功率(kw)

250

360

480

600

900

1200

極限真空度(Pa)

20

20

20

20

20

20

壓升率(Pa/h)

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

以上化學氣相沉積爐參數(shù)可以根據(jù)工藝要求進行調整,不作為驗收依據(jù),具體以技術方案和協(xié)議為準。

化學氣相沉積爐主要配置

爐門:絲杠升降//液壓升降/手動升降;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊

爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC

加熱器:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

工藝氣路系統(tǒng):體積/質量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產(chǎn)

真空泵和真空計---進口/國產(chǎn)

PLC:歐姆龍/西門子

控溫儀表:日本島電/英國歐陸

熱電偶:C分度號/S分度號/K分度號/N分度號

記錄儀:無紙記錄儀/有紙記錄儀;進口/國產(chǎn)

人機界面:模擬屏/觸摸屏/工控機

電器元件:正泰/施耐德/西門子

料車:滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車

化學氣相沉積爐技術特征

本化學氣相沉積爐zui大工作區(qū)尺寸可達2.5m×2m×4.5m,能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求;

本化學氣相沉積爐采用多溫區(qū)獨立控溫,溫度均勻性好;

本化學氣相沉積爐采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

本化學氣相沉積爐采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

本化學氣相沉積爐對炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。



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