活動范圍 ~300mm x 300mm
測量范圍 100?~ 35?（Depends on Film Type）
光斑尺寸 40?/20?,4?（option）
測量速度 1~2 sec./site（fitting time）
應用領域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Large Size Wafer Measurement
選擇 Transmittance Module
Reference Sample（K-MAC or KRISS or NIST）
接物鏡旋轉(zhuǎn)器 Quintuple Revolving Nosepiecs
焦點 Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附帶照明 12v 100W Halogen Lamp

尺寸 1100 x 1250 x 1550 mm
重量 400kg
類型 自動的
測量方法 無連接的
測量原理 反射計
特征

測量迅速，操作簡單 
非接觸式，非破壞方式 
優(yōu)秀的重復性和再現(xiàn)性 
2D/3D 映射和造型 
自動機械活動控制 
電荷耦合器件照相機 
自動調(diào)焦