MX61 半導(dǎo)體檢測顯微鏡
- 公司名稱 北京元中銳科集成檢測技術(shù)有限公司
- 品牌 OLYMPUS/奧林巴斯
- 型號 MX61
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2019/10/8 13:49:48
- 訪問次數(shù) 1673
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MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半導(dǎo)體檢測顯微鏡通過各種觀察方法--明視場法、暗視場法、微分干涉法（DIC）、熒光法、紅外線法和深紫外線法，保證了的圖像分辨率和鮮明度。
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考慮了檢查效率的設(shè)計
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鮮明圖像和的分辨率為特點的光學(xué)系
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軟件方案
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支持缺陷檢測的多種功能
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幫助實現(xiàn)多種觀察的附件
考慮了檢查效率的設(shè)計
主要操作集中配置在前面板上
前面板
[1] 照明強(qiáng)度旋鈕
[2] 物鏡倍率切換
[3] 孔徑光闌調(diào)節(jié)
在對比度的決定上起重要作用的孔徑光闌（AS）的開閉調(diào)節(jié)，與物鏡的切換和觀察模式連動，用一個按鈕就可以操作。此外，用一個手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對焦手柄，只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設(shè)計提高了手指尖的感知度，能夠防止錯誤操作。
觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒
傾斜鏡筒示意圖
為了適應(yīng)視點而調(diào)整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進(jìn)行檢查的話會浪費時間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對應(yīng)）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無關(guān)的舒適觀察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離，可以在較大的平臺上輕松操作。
高靈敏度載物臺可以迅速決定位置
內(nèi)置離合器的載物臺手柄
對應(yīng)300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍（Y方向284 mm）。另外，內(nèi)置離合器的載物臺手柄，可切換粗調(diào)和微調(diào)。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺，快速完成檢查。
鮮明圖像和的分辨率為特點的光學(xué)系
多種選擇可實現(xiàn)的成像性能
物鏡是涉及到樣品的照明和觀察的重要部件，奧林巴斯有應(yīng)對多種多樣的觀察方法、長工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇。
觀察影像實例
明視場觀察
暗視場觀察
微分干涉觀察
半導(dǎo)體檢測顯微鏡熒光觀察
| 豐富的產(chǎn)品陣容，可按需選擇 | |
| MPLAPON | 平場復(fù)消色差透鏡 |
| MPLFLN | 平場半復(fù)消色差透鏡 |
| MPLFLN-BD | 明暗視場用平場半復(fù)消色差透鏡 |
| MPLFLN-BDP | 反射偏振光用平場半復(fù)消色差透鏡 |
| LMPLFLN | 長工作距離平場半復(fù)消色差透鏡 |
| LMPLFLN-BD | 明暗視場用長工作距離平場半復(fù)消色差透鏡 |
| MPLN | 平場消色差透鏡 |
| MPLN-BD | 明暗視場用平場消色差透鏡 |
| SLMPLN | 超長工作距離平場消色差透鏡 |
| LCPLFLN-LCD | 液晶長工作距離平場半復(fù)消色差透鏡 |
軟件方案
實現(xiàn)數(shù)字成像
MX61L配備了PC界面，可以讀取顯微鏡的電動功能。因此，捕獲影像時可以自動保存物鏡倍率，為日后處理和分析影像提供可靠的影像信息。
使用數(shù)碼照相機(jī)記錄和保存數(shù)碼影像
三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機(jī)?？梢员４婧陀涗洈?shù)碼影像，幫助創(chuàng)建觀察報告?？梢罁?jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機(jī)。
支持缺陷檢測的多種功能
快速切換物鏡，提高檢查速度
電動物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖
電動物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機(jī)，在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。
變換物鏡，孔徑光闌（AS）也隨之調(diào)節(jié)
AS自動調(diào)節(jié)示意圖
每次變換物鏡時都需要調(diào)節(jié)孔徑光闌（AS）的話，會影響檢查速度。MX61L對每個物鏡都可以設(shè)置觀察方法和AS（14級），只要切換物鏡就能以zui合適的對比度進(jìn)行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時不再需要花時間調(diào)節(jié)AS，提高速度的同時減輕了操作員的疲勞。
幫助實現(xiàn)多種觀察的附件
安全快速的搬運晶圓
自動晶圓搬送機(jī)AL110（200 mm規(guī)格）組合
MX61L能與自動晶圓搬送機(jī)組合，組合后的尺寸也被設(shè)計得很小。能夠無接觸、安全和快速的執(zhí)行從內(nèi)面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務(wù)。此外，晶圓盒還可以從前面輕松設(shè)置。如果使用選件的遙控器，那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成。
近紅外線觀察單元
由可見光線領(lǐng)域到近紅外線領(lǐng)域的像差校正物鏡，和紅外線用超廣角三目鏡筒等，對應(yīng)近紅外線的裝置備有各種型號。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。
近紅外線觀察單元
粘合襯墊
熒光觀察單元
在滑桿上追加鏡子裝置可以對應(yīng)熒光觀察。備有U.B.G激勵的反射鏡裝置，可有效地檢查和分析有機(jī)EL和殘留光刻膠。
熒光鏡單元
熒光觀察
透射照明單元
透射照明單元
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