北京泰諾鑫源科技有限公司（http://www.tenoyo。。ｃｏｍ）專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)銷(xiāo)售實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備。EasyCoater和SmartCoater系列勻膠機(jī)、烤膠機(jī)、提拉鍍膜機(jī)、電解雙噴減薄儀、低溫恒溫設(shè)備等實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，公司技術(shù)力量雄厚、工藝裝備*、制造經(jīng)驗(yàn)豐富、產(chǎn)品質(zhì)量可靠、售后服務(wù)周到，在信譽(yù)上深受用戶(hù)信賴(lài)。

SC100-SE勻膠機(jī)SmartCoater100系列高精密勻膠機(jī)主要性能指標(biāo)：

主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）

旋涂程序：zui多可存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可精確到0.1秒

轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-10,000rpm（更高速可選）

旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm

轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm

工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec

支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶）

旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量）

SC100-SE勻膠機(jī)SmartCoater100系列高精密勻膠機(jī) 產(chǎn)品特性?xún)?yōu)點(diǎn)：

的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì)，縮小了設(shè)備的尺寸。

7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。

on ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。

標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm，并可根據(jù)用戶(hù)需要進(jìn)行定制。

采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。

機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，*生銹，便于清洗。

排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 （以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。

透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

SC100-SE高精密勻膠機(jī)產(chǎn)品外型尺寸：

　　　　　433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)
　　　　　306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結(jié)構(gòu)

使用客戶(hù)：中科院半導(dǎo)體所南京大學(xué)上海理工大學(xué)南京郵電大學(xué)中科院物理所中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)北京航天九院清華大學(xué)易美芯光（北京）科技有限公司等。

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  北京泰諾鑫源科技有限公司（http://www.tenoyo。。ｃｏｍ/）主要產(chǎn)品EasyCoater和SmartCoater系列勻膠機(jī)、烤膠機(jī)、提拉鍍膜機(jī)、電解雙噴減薄儀、低溫恒溫設(shè)備等。隨著生命科學(xué)行業(yè)的蓬勃發(fā)展，諾源儀器也將迎來(lái)新的機(jī)遇和挑戰(zhàn)，我們將一如既往地向著目標(biāo)努力：致力于成為*的實(shí)驗(yàn)室集成供應(yīng)商。我司歡迎您的。

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