(1)該設(shè)備可以實現(xiàn)單片沉積也可以實現(xiàn)連續(xù)沉積。
(2)該設(shè)備可以對通入的氣體進行精確的控制,配有混氣罐。
(3)該設(shè)備爐襯全部采用輕質(zhì)耐火材料,采用真空澆筑技術(shù),設(shè)備熱效率高。
(4)該設(shè)備的使用溫度一般不高于1150度。
(5)該設(shè)備爐管采用高純度定制石英管。
(6)該設(shè)備真空度可以抽至10E-4pa。
(7)該設(shè)備采用220V/380V的電壓。
(8)該設(shè)備電熱元件鑲嵌在輕質(zhì)耐火材料內(nèi)部,結(jié)構(gòu)合理。
(9)該設(shè)備為多點測溫。
(10)該設(shè)備作多種尺寸規(guī)模的沉積