STIL光譜共焦位移傳感器

上海途優(yōu)科學(xué)儀器有限公司 

光譜共焦位移傳感器工作原理：

光譜共焦測量原理：由光源射出一束寬光譜的復(fù)色光（呈白色），通過色散鏡頭發(fā)生光譜色散，形成不同波長的單色光，每個波長對應(yīng)一個到被測物體的距離值，測量光射到物體表面被反射回來，只有滿足共焦條件的單色光，可以通過小孔被光譜儀感測到。通過計算被感測到的光的波長，換算獲得距離值。

產(chǎn)品特性與優(yōu)勢：

對樣品無損傷：采用光譜軸向色差原理

可測樣品的zui大傾角：87°，是測量高坡度和高曲折度樣品的*選擇

應(yīng)用范圍廣：平面、曲面、球面、透明、半透明、高曲折度、高光潔度、、金屬材料、低反射度、粗糙樣品(金屬、玻璃、生物材料、合成材料、光學(xué)材料、纖維織物、涂層……)

同軸測量（無陰影）

鏡面，高光金屬均可高精度穩(wěn)定測量

對環(huán)境光不敏感

透明體厚度和形態(tài)測量

有多種規(guī)格測頭可選，量程范圍100um~24000um。

搭載掃描平臺可實現(xiàn)輪廓及三維形貌測量

粗糙度測量

可測量zui小幾個納米的粗糙度。
獲取粗糙度測量結(jié)果效率遠(yuǎn)高于普通探針式
非接觸單點式測量，對樣品表面無損傷

輪廓及形貌測量

能滿足幾乎所有復(fù)雜工況下的二維及三維形貌測量，精度可達(dá)納米級。

透明體厚度測量（玻璃厚度，薄膜厚度，液膜厚度）

STIL光譜共焦傳感器采用*的光譜共焦成像原理，使用一個共焦測頭就能實現(xiàn)透明材料厚度的檢測，*程度提高測量效率及方便性

位移振動測量

由于超高測量精度及高速采樣頻率（zui高30KHz），使得其可以輕松滿足微位移和振動的測量需求。

特型測頭：

微型測頭（軸向），直徑6.0mm便于在狹小空間安裝使用。

微型測頭90°，內(nèi)壁結(jié)構(gòu)測量，孔的內(nèi)部形貌測量。

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