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PE-CVD 維意真空等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積鍍膜設(shè)備

參考價(jià) 200000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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公司名稱(現(xiàn)用名):北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司
公司名稱(曾用名):北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司
覆蓋區(qū)域:北京、天津、河北


      北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司,原名北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司,創(chuàng)立于2013年,位于中國(guó)·首都北京密云經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū),主體經(jīng)營(yíng)分為真空配件銷售、真空設(shè)備定制、淺藍(lán)納米科技三個(gè)部分,是北京從事真空產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造、銷售、維修、保養(yǎng)于一體的專業(yè)性的公司,公司擁有一支專業(yè)、優(yōu)秀的產(chǎn)品技術(shù)工程師和維修技術(shù)工程師,具有豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn),同時(shí)還與北京工業(yè)大學(xué)聯(lián)合研發(fā)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng),與北京交通大學(xué)聯(lián)合研發(fā)原子層沉積系統(tǒng),滿足高校、研究所的教學(xué)、科研使用,同時(shí)減少相關(guān)進(jìn)口設(shè)備的*,并力爭(zhēng)創(chuàng)造外匯,打出中國(guó)創(chuàng)造的品牌!  


      我們的客戶遍布北京各高校和研究院所、部分*單位和電力試驗(yàn)所、各級(jí)的材料、物理、化學(xué)、納米等研究領(lǐng)域*的實(shí)驗(yàn)室,期待您就是我們的下一位客戶、朋友!


      您的滿意微笑是我們一直努力追求的經(jīng)營(yíng)目標(biāo)!
      技術(shù)創(chuàng)新、業(yè)務(wù)專業(yè)、服務(wù)誠(chéng)信是我們一直遵循的經(jīng)營(yíng)理念!


      我們熱誠(chéng)歡迎國(guó)內(nèi)外*的儀器制造商及科學(xué)工作者與我們聯(lián)系開展各層面的合作,打造成真空系統(tǒng)產(chǎn)品、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)和原子層沉積系統(tǒng)供應(yīng)商。


ALD設(shè)備,PECVD設(shè)備

使用溫度 1100℃ 極限真空度 1Pa
射頻電源功率 300W 爐管直徑 100mm
溫區(qū) 1~3溫區(qū)

維意真空等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積鍍膜設(shè)備

該系列PECVD系統(tǒng)具有固態(tài)等離子源、分開式反應(yīng)氣體進(jìn)氣系統(tǒng),動(dòng)態(tài)襯底溫控,全面控制真空系統(tǒng),采用集中現(xiàn)場(chǎng)控制總線技術(shù)的“值守精靈”控制軟件,以及友好用戶操作界面來(lái)操作。適用于室溫至1400℃條件下進(jìn)行的SiO2、SiNx,、 SiONx a-Si薄膜的沉積,同時(shí)可實(shí)現(xiàn)TEOS源沉積,SiC膜層沉積以及液態(tài)或氣態(tài)源沉積其它材料,尤其適合于有機(jī)材料上高效保護(hù)層膜和特定溫度下無(wú)損傷鈍化膜的沉積。

*** PE-CVD結(jié)構(gòu)特點(diǎn)介紹:

1、PECVD系列真空管式高溫?zé)Y(jié)爐如圖所示,集控制系統(tǒng)與爐膛為一體;

2、爐襯使用真空成型高純氧化鋁聚輕材料,采用進(jìn)口高溫合金電阻絲為加熱元件;

3、高純石英管橫穿于爐體中間作為的爐膛,爐管兩端用不銹鋼法蘭密封,工件式樣在管中加熱,加熱元件

與爐管平行,均勻地分布在爐管外,有效的保證了溫場(chǎng)的均勻性;

4、測(cè)溫采用性能穩(wěn)定,長(zhǎng)壽命的“K”型熱電偶,以提高控溫的精準(zhǔn)性;

5、它是專為高等院校﹑科研院所及工礦企業(yè)對(duì)金屬,非金屬及其它化和物材料在氣氛或真空狀態(tài)下進(jìn)行燒

結(jié)﹑融化﹑分析而研制的設(shè)備;

6、MPECVD系列真空管式爐能夠快速開啟,快速升降溫,方便客戶對(duì)特殊材料的裝載,燒制和觀察;

7、爐體的控制面板配有觸摸屏,控制電源開關(guān),配有電源和保險(xiǎn)指示燈,以便隨時(shí)觀察本系統(tǒng)的工作狀態(tài)。

維意真空等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積鍍膜設(shè)備





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