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PE-CVD 維意真空等離子增強化學氣相沉積鍍膜設(shè)備

參考價 200000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準

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公司名稱(現(xiàn)用名):北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責任公司
公司名稱(曾用名):北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司
覆蓋區(qū)域:北京、天津、河北


      北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責任公司,原名北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司,創(chuàng)立于2013年,位于中國·首都北京密云經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū),主體經(jīng)營分為真空配件銷售、真空設(shè)備定制、淺藍納米科技三個部分,是北京從事真空產(chǎn)品設(shè)計、制造、銷售、維修、保養(yǎng)于一體的專業(yè)性的公司,公司擁有一支專業(yè)、優(yōu)秀的產(chǎn)品技術(shù)工程師和維修技術(shù)工程師,具有豐富的行業(yè)經(jīng)驗,同時還與北京工業(yè)大學聯(lián)合研發(fā)等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng),與北京交通大學聯(lián)合研發(fā)原子層沉積系統(tǒng),滿足高校、研究所的教學、科研使用,同時減少相關(guān)進口設(shè)備的*,并力爭創(chuàng)造外匯,打出中國創(chuàng)造的品牌!  


      我們的客戶遍布北京各高校和研究院所、部分*單位和電力試驗所、各級的材料、物理、化學、納米等研究領(lǐng)域*的實驗室,期待您就是我們的下一位客戶、朋友!


      您的滿意微笑是我們一直努力追求的經(jīng)營目標!
      技術(shù)創(chuàng)新、業(yè)務(wù)專業(yè)、服務(wù)誠信是我們一直遵循的經(jīng)營理念!


      我們熱誠歡迎國內(nèi)外*的儀器制造商及科學工作者與我們聯(lián)系開展各層面的合作,打造成真空系統(tǒng)產(chǎn)品、等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)和原子層沉積系統(tǒng)供應(yīng)商。


ALD設(shè)備,PECVD設(shè)備

使用溫度 1100℃ 極限真空度 1Pa
射頻電源功率 300W 爐管直徑 100mm
溫區(qū) 1~3溫區(qū)

維意真空等離子增強化學氣相沉積鍍膜設(shè)備

該系列PECVD系統(tǒng)具有固態(tài)等離子源、分開式反應(yīng)氣體進氣系統(tǒng),動態(tài)襯底溫控,全面控制真空系統(tǒng),采用集中現(xiàn)場控制總線技術(shù)的“值守精靈”控制軟件,以及友好用戶操作界面來操作。適用于室溫至1400℃條件下進行的SiO2、SiNx,、 SiONx a-Si薄膜的沉積,同時可實現(xiàn)TEOS源沉積,SiC膜層沉積以及液態(tài)或氣態(tài)源沉積其它材料,尤其適合于有機材料上高效保護層膜和特定溫度下無損傷鈍化膜的沉積。

*** PE-CVD結(jié)構(gòu)特點介紹:

1、PECVD系列真空管式高溫燒結(jié)爐如圖所示,集控制系統(tǒng)與爐膛為一體;

2、爐襯使用真空成型高純氧化鋁聚輕材料,采用進口高溫合金電阻絲為加熱元件;

3、高純石英管橫穿于爐體中間作為的爐膛,爐管兩端用不銹鋼法蘭密封,工件式樣在管中加熱,加熱元件

與爐管平行,均勻地分布在爐管外,有效的保證了溫場的均勻性;

4、測溫采用性能穩(wěn)定,長壽命的“K”型熱電偶,以提高控溫的精準性;

5、它是專為高等院校﹑科研院所及工礦企業(yè)對金屬,非金屬及其它化和物材料在氣氛或真空狀態(tài)下進行燒

結(jié)﹑融化﹑分析而研制的設(shè)備;

6、MPECVD系列真空管式爐能夠快速開啟,快速升降溫,方便客戶對特殊材料的裝載,燒制和觀察;

7、爐體的控制面板配有觸摸屏,控制電源開關(guān),配有電源和保險指示燈,以便隨時觀察本系統(tǒng)的工作狀態(tài)。

維意真空等離子增強化學氣相沉積鍍膜設(shè)備





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