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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>集成電路測試與分選設(shè)備>探針臺>W-TZ4 維意真空高低溫真空探針臺支持定制

W-TZ4 維意真空高低溫真空探針臺支持定制

參考價 280000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


公司名稱(現(xiàn)用名):北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司
公司名稱(曾用名):北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司
覆蓋區(qū)域:北京、天津、河北


      北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司,原名北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司,創(chuàng)立于2013年,位于中國·首都北京密云經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū),主體經(jīng)營分為真空配件銷售、真空設(shè)備定制、淺藍納米科技三個部分,是北京從事真空產(chǎn)品設(shè)計、制造、銷售、維修、保養(yǎng)于一體的專業(yè)性的公司,公司擁有一支專業(yè)、優(yōu)秀的產(chǎn)品技術(shù)工程師和維修技術(shù)工程師,具有豐富的行業(yè)經(jīng)驗,同時還與北京工業(yè)大學(xué)聯(lián)合研發(fā)等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng),與北京交通大學(xué)聯(lián)合研發(fā)原子層沉積系統(tǒng),滿足高校、研究所的教學(xué)、科研使用,同時減少相關(guān)進口設(shè)備的*,并力爭創(chuàng)造外匯,打出中國創(chuàng)造的品牌!  


      我們的客戶遍布北京各高校和研究院所、部分*單位和電力試驗所、各級的材料、物理、化學(xué)、納米等研究領(lǐng)域*的實驗室,期待您就是我們的下一位客戶、朋友!


      您的滿意微笑是我們一直努力追求的經(jīng)營目標(biāo)!
      技術(shù)創(chuàng)新、業(yè)務(wù)專業(yè)、服務(wù)誠信是我們一直遵循的經(jīng)營理念!


      我們熱誠歡迎國內(nèi)外*的儀器制造商及科學(xué)工作者與我們聯(lián)系開展各層面的合作,打造成真空系統(tǒng)產(chǎn)品、等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)和原子層沉積系統(tǒng)供應(yīng)商。


ALD設(shè)備,PECVD設(shè)備

極限真空度 1Pa 充氣 3路質(zhì)量流量計
樣品臺直徑 4英寸 使用溫度 -140~300℃
探針數(shù)量 4個

維意真空高低溫真空探針臺支持定制

高低溫真空可以很好的滿足極低溫測試和高溫?zé)o氧化測設(shè):

極低溫測試:

    因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上,會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。要想避免這些就需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。

高溫?zé)o氧化測試:

當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃甚至更高溫度時,氧化現(xiàn)象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越

特點:

1、晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現(xiàn)象,定位好的探針與器件電

極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,高低溫真空探針臺針座位于腔體外部,

便于操作重新調(diào)整探針位置。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針

的位置。針座行程 X-Y-Z :25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch),精度

10 micron(有效行程和精度可選);

2、工作臺溫度范圍:-150℃——400℃,顯示精度0.1℃,控溫精度2℃,工作臺溫度均勻

性5℃,常溫到-150℃冷卻時間:1小時40分鐘,常溫到400℃加熱時間:40分鐘;

3、真空腔體極限真空到6.67*10-1Pa(配置機械泵);

4、可以選擇射頻配件做zui高67 GHz的射頻測試;

5、選配:顯微鏡、防震桌、方形工作臺、分子泵組、射頻部件等。

維意真空高低溫真空探針臺支持定制





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