維意真空ALD/MO/CVD源瓶支持定制

（起泡器）用于固態(tài)、液態(tài)及氣態(tài)超純物料類的封裝，涉及微正壓、

常壓、中低壓的危險(xiǎn)化學(xué)品，所以對的安全性和潔凈度提出嚴(yán)苛的要

求。

*** 源瓶特點(diǎn)：

1、所有管件采用316L不銹鋼，內(nèi)部經(jīng)400目機(jī)械拋光和電化學(xué)拋光，Ra≦0.25微米；

2、閥門有美國世偉洛克球閥和隔膜閥、日本富士金隔膜閥和韓國TK隔膜閥供選擇；

3、密封墊片選用純銀鍍鎳墊片；

4、氦質(zhì)譜檢測泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s；

5、可盛裝化學(xué)品純度≧99.9995;

6、總殘余元素量≦50PPb；

7、墜落試驗(yàn)，通過國家商檢部門檢測；

8、介質(zhì)，TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等；

9、可選擇氣動(dòng)閥門或者實(shí)現(xiàn)在注入端子、輸出端子以及接口之間的交叉清掃處理等；

10、可提供非標(biāo)定做。

維意真空ALD/MO/CVD源瓶支持定制

我們的產(chǎn)品嚴(yán)格遵照相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，并執(zhí)行原材料檢驗(yàn)、加工在線檢測、半成品檢測及成品出廠檢測，對于非標(biāo)定制的產(chǎn)品與客戶聯(lián)合檢測驗(yàn)收；需要特別指出的是對于真空室，所有接縫處、焊接處及法蘭連接處都要通過嚴(yán)格的觀察檢驗(yàn)及氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏測試，并對整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)行漏率測試，系統(tǒng)漏率優(yōu)于 8.0×10-8 Pa.L/S。

維意真空踐行“先服務(wù)，后銷售”原則，承諾對本公司銷售的產(chǎn)品提供不少于12個(gè)月的質(zhì)保服務(wù)（可根據(jù)客戶要求提供延保服務(wù)），質(zhì)保期內(nèi)設(shè)備的維修免費(fèi)。質(zhì)保期外，提供終身服務(wù)。對于操作故障，本公司在接到故障通知2小時(shí)內(nèi)給予解答；對于設(shè)備故障，公司在接到故障通知后，北京地區(qū)12小時(shí)內(nèi)派技術(shù)人員到達(dá)現(xiàn)場處理，外阜地區(qū)48小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場。