化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>集成電路測(cè)試與分選設(shè)備>探針臺(tái)>VM系列 探針臺(tái)系統(tǒng)
VM系列 探針臺(tái)系統(tǒng)
- 公司名稱(chēng) 深圳市展芯科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) VM系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì)
- 更新時(shí)間 2016/10/20 17:13:04
- 訪問(wèn)次數(shù) 480
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
探針臺(tái)系統(tǒng)，探針座，探針夾具，探針臺(tái)系統(tǒng)配件，半導(dǎo)體設(shè)備維修和定制服務(wù)
產(chǎn)品應(yīng)用：
DC、RF、mmW測(cè)試；
納米級(jí)電子器件測(cè)試、微機(jī)電測(cè)試；
超導(dǎo)測(cè)試。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
80k-573k溫度范圍，可擴(kuò)展至4k-1073k。
載物臺(tái)內(nèi)部液氮浸潤(rùn)式結(jié)構(gòu)，快速降溫，液氮使用量更少，節(jié)約耗材成本。
高真空不銹鋼真空腔體（配套分子泵組可達(dá)10-6mbar）。
低溫測(cè)試時(shí)真空腔體體內(nèi)無(wú)凝露、結(jié)霜。
紅外截止玻璃觀察窗，提升測(cè)試腔內(nèi)部溫度穩(wěn)定性。
4探針點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)，zui多可定制8探針點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)。
配套同軸或三軸電纜可應(yīng)用于高精度的DC測(cè)試。
配套微波測(cè)試套件可應(yīng)用于DC-67GHz的RF測(cè)試或頻率更高的mmW測(cè)試。
技術(shù)指標(biāo) |
載物臺(tái) |
|
尺寸 | 4"（2"、6"、8"方案可選） |
材質(zhì) | 合金銅 |
表面處理 | 可選純金鍍層或沉鎳鍍層 |
平整度 | <50µm@300℃ |
|
|
載物臺(tái)移動(dòng)基座（可選項(xiàng)） |
|
X-Y軸行程范圍 | 4"*4"，根據(jù)載物臺(tái)尺寸可選更大行程，電動(dòng)控制系統(tǒng)可選 |
精度 | 1μm |
R軸微調(diào)角度范圍 | ±9° |
R軸微調(diào)精度 | 0.0001°/deg |
Z軸細(xì)調(diào)行程范圍 | 13mm |
細(xì)調(diào)精度 | 1μm |
Z軸快升行程 | 350μm |
Z軸往復(fù)精度 | <1μm |
溫度控制系統(tǒng) |
|
溫度范圍 | 80k-573k |
溫度精度 | 0.1℃ |
溫控精度 | 溫控精度0.1℃，連續(xù)變溫?zé)o節(jié)點(diǎn)。 |
溫度均勻性 | 0.1℃@4(100mm)載物臺(tái)。 |
加熱方式 | 電阻加熱 |
制冷方式 | 液氮制冷 |
杜瓦罐容量 | 80L自增壓液氮杜瓦罐 |
致冷劑消耗量 | 15L液態(tài)氮（室溫降至80k） |
溫度擴(kuò)展范圍 | 4k-1073k |
|
真空系統(tǒng) |
| |
真空度 | 10-3mbar*（可配套分子泵組，達(dá)到更高的真空度10-6mbar） | |
真空泵 | 旋片式雙級(jí)油封真空泵，可升級(jí)渦輪分子泵組 | |
抽速 | 16m3/h | |
抽真空時(shí)間 | 5min（10-3mbar） | |
真空焊接波紋管 | 三維彎曲大于25mm（定制參數(shù)） | |
法蘭 | KF（更高真空度要求則使用CF） | |
真空腔體 |
| |
腔體材質(zhì) | 不銹鋼 | |
觀察舷窗 | 紅外截止玻璃** | |
真空泵接口法蘭 | KF25 | |
液氮接口法蘭 | KF25 | |
點(diǎn)測(cè)系統(tǒng) |
| |
探針座數(shù)量 | 4個(gè)（zui多8個(gè)，可根據(jù)需求定制） | |
探針夾具 | 4個(gè)（zui多8個(gè)，可根據(jù)需求定制） | |
定位精度 | 5μm（可根據(jù)需求定制） | |
X-Y-Z軸移動(dòng)行程 | 25mm*25mm*25mm（可根據(jù)需求定制） | |
光學(xué)系統(tǒng)（體視顯微鏡） |
| |
光學(xué)放大倍數(shù) | 15X-100X | |
變焦倍率 | 0.75X-5X（變倍比6X） | |
CCD | 1/3”數(shù)字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口 | |
顯微鏡旋臂 | 兩段式顯微鏡支架，可快速移動(dòng)定位顯微鏡 | |
光學(xué)系統(tǒng)（單筒顯微鏡） |
| |
光學(xué)放大倍數(shù) | 400X(21英寸顯示器) | |
變焦倍率 | 0.58X-7X（變倍比12X，超大變倍范圍） | |
CCD | 1/3”數(shù)字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口 | |
顯微鏡旋臂 | 兩段式顯微鏡支架，可快速移動(dòng)定位顯微鏡 | |
顯微鏡移動(dòng)基座（可選項(xiàng)） |
| |
X-Y軸行程范圍 | 2"*2"，根據(jù)載物臺(tái)尺寸可選更大行程，電動(dòng)控制系統(tǒng)可選 | |
精度 | 1μm | |
防震臺(tái) |
| |
隔震方式 | 氣囊式防震臺(tái) | |
固有頻率 | 1.2Hz（水平），1.5Hz（水平） | |
樣品振動(dòng) | <300nm（真空泵工作時(shí)） |
*低溫測(cè)試時(shí)真空腔體內(nèi)無(wú)凝露或結(jié)霜。
**紅外截止玻璃：過(guò)濾紅外光，防止紅外光進(jìn)入真空腔體內(nèi)使腔體內(nèi)部升溫，提升載物臺(tái)溫度穩(wěn)定性。
***77k為液氮溫度，實(shí)際操作中，由于載物臺(tái)熱傳導(dǎo)損耗的存在，無(wú)法達(dá)到77k。根據(jù)液氮循環(huán)的時(shí)間而定，實(shí)際zui低溫度不會(huì)低于85k。
特別提示
1. “產(chǎn)品應(yīng)用示例”欄目下的圖示是為方便客戶(hù)理解產(chǎn)品應(yīng)用而拍攝的產(chǎn)品應(yīng)用示意圖片，實(shí)際銷(xiāo)售的商品配置，請(qǐng)您參考“產(chǎn)品配置說(shuō)明”或咨詢(xún)我司客服人員。
2. 若我司的客服人員無(wú)法及時(shí)答復(fù)您的問(wèn)題，請(qǐng)麻煩您致電深圳市展芯科技有限公司，：，我們將在zui短的時(shí)間內(nèi)響應(yīng)您的需求。
品牌簡(jiǎn)介-PRCBE
展芯科技是一家專(zhuān)業(yè)的探針臺(tái)系統(tǒng)研發(fā)和生產(chǎn)商，致力于為用戶(hù)提供中國(guó)（PRC）精準(zhǔn)（Precise）、可靠（Reliable）和高性?xún)r(jià)比（Cost-effective）的探針臺(tái)系統(tǒng)。
依托于自有的芯片失效分析實(shí)驗(yàn)室，展芯科技得以根據(jù)zui前端的測(cè)試需求不斷地研發(fā)改進(jìn)，以滿(mǎn)足用戶(hù)日新月異的測(cè)試需求。同時(shí)，芯片失效分析實(shí)驗(yàn)室也為展芯的提供了理論實(shí)際的測(cè)試平臺(tái)，芯片分析實(shí)驗(yàn)室用戶(hù)在使用的同時(shí)，也給我司產(chǎn)品提供了寶貴的改進(jìn)建議。
經(jīng)過(guò)10年的發(fā)展和積累，展芯已在的應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域取得了的成績(jī)，可針對(duì)用戶(hù)不同的測(cè)試需求定制解決方案，如微弱電流測(cè)試（1fA）、RF 和mmW測(cè)試（THz）、高功率測(cè)試（100A，10kV）、真空高低溫測(cè)試（-196℃~800℃）、光電測(cè)試等等。
憑借著PRC的產(chǎn)品，展芯贏得了半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)科研機(jī)構(gòu)和公司的信任和尊重，建立了*的合作關(guān)系。展芯的已在國(guó)內(nèi)外的科研院所、學(xué)校和公司中獲得廣泛的使用，如中科院、廣州五所（賽寶實(shí)驗(yàn)室）、北京自動(dòng)化設(shè)備研究所、電子科技大學(xué)、西安電子科技大學(xué)、清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、香港大學(xué)、香港科技大學(xué)、香港城市大學(xué)、華為、中興、比亞迪、富士康等等。
感謝您對(duì)展芯的關(guān)注，相信我們PRC的產(chǎn)品定能讓您在集成電路 (IC)、電路板、光學(xué)器件、MEMS、3D TSV、LCD等*半導(dǎo)體器件的精密電氣測(cè)量及測(cè)試中獲得精準(zhǔn)可靠的測(cè)試數(shù)據(jù)。
售后服務(wù)
2年質(zhì)量保修期
除探針耗材外，展芯科技銷(xiāo)售的產(chǎn)品質(zhì)量保證期為貨物簽收之日起2年，在此期間若合同標(biāo)的物出現(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題，均由展芯負(fù)責(zé)維修或替換，但以下情況除外：1. 自然原因?qū)е碌漠a(chǎn)品質(zhì)量衰退、精度下降；2. 人為或不可抗拒的自然現(xiàn)象而發(fā)生的損壞；3. 用戶(hù)擅自進(jìn)行的拆解、改裝、功能附加或減除導(dǎo)致的損壞；4. 用戶(hù)自行或經(jīng)第三方維修導(dǎo)致的損壞。
免費(fèi)終身維護(hù)
除探針耗材外，展芯科技銷(xiāo)售的產(chǎn)品均可享受免費(fèi)終身維護(hù)服務(wù)。
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)