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徠卡顯微系統(tǒng)(上海)貿(mào)易有限公司

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AL120-12晶圓搬送機(jī)半導(dǎo)體顯微鏡

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西努光學(xué)創(chuàng)建于2003 年,主營工業(yè)顯微鏡及制樣設(shè)備、鏡片測定設(shè)備,高速攝像系統(tǒng)、工業(yè)內(nèi)窺鏡、機(jī)器視覺等工業(yè)及科研應(yīng)用的檢測設(shè)備及系統(tǒng)集成。
西努光學(xué)秉承“以光學(xué)為核心,為客戶提供解決方案”的經(jīng)驗(yàn)思路,經(jīng)過16年的努力,成為眾多企業(yè)、高校科研單位提供各種專業(yè)化的光學(xué)系統(tǒng)解決方案。并于2012 年導(dǎo)入SAP 管理系統(tǒng),通過系統(tǒng)資源整合,為客戶提供更優(yōu)質(zhì)、快捷的專業(yè)化服務(wù)。
2016 年,我們積極引進(jìn)檢測設(shè)備的同時導(dǎo)入制樣等配套設(shè)備以豐富我們實(shí)驗(yàn)室平臺,以更好的為客戶提供現(xiàn)場體驗(yàn),從微米到納米滿足客戶從制樣到結(jié)果分析的一站式體驗(yàn)服務(wù)。



奧林巴斯顯微鏡,奧林巴斯工業(yè)內(nèi)窺鏡,iX高速攝像機(jī),標(biāo)樂金相制樣設(shè)備,威爾遜硬度計,navitar鏡頭,日立掃描電鏡,加拿大WDI光學(xué)設(shè)備

AL120-12晶圓搬送機(jī)半導(dǎo)體顯微鏡詳細(xì)介紹:

AL120-12晶圓搬送機(jī)對應(yīng)可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計確保了操作人員在搬送晶圓時(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。

人機(jī)工程學(xué)設(shè)計,操作方便
•可以自由設(shè)置的檢查模式,在設(shè)計上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設(shè)備的操作簡便性。
•分別對應(yīng)FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機(jī)型。 堅固、可靠和安全傳送
•延續(xù)了上一代機(jī)型的堅固性、可靠性和安全性,能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。
•薄片,Warped晶圓皆能安全搬送。
•宏觀觀察位置的*化和操作單元的集中排列,提高了設(shè)備的操作舒適性。
AL120-12晶圓搬送機(jī)半導(dǎo)體顯微鏡宏觀照明裝置


宏觀照明裝置
為異物、傷痕、膜斑、散焦的發(fā)現(xiàn)提供了理想的照明方式
高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合,實(shí)現(xiàn)了300 mm晶圓的冷光源全面照射。
自動300 mm晶圓搬送機(jī) AL120-12 規(guī)格
 AL120-LMB12-LPAL120-LMB12-F
晶圓尺寸300 mm(SEMI M1.15 t=775 μm)可選:200 mm
卡盒●FOUP(Front Opening Unified Pods)前開門標(biāo)準(zhǔn)夾 
●SEMI:E47.1-0200規(guī)格產(chǎn)品 
●FIMS-FOSB, FOSB
●FOSB(Front Opening Shipping Box)前開門搬運(yùn)盒 
●SEMI:M31-0999規(guī)格產(chǎn)品
卡盒數(shù)單盒(裝載、卸載兼用)
卡盒設(shè)置高度900 mm
裝載端口
搬運(yùn)順序表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查
檢查模式全部檢查、抽樣檢查
晶圓校準(zhǔn)非接觸式中心環(huán)
晶圓搬運(yùn)方式真空吸附機(jī)械搬運(yùn)
適用顯微鏡半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L
應(yīng)用環(huán)境AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz 
真空-67~-80 Kpa 
壓縮空氣0.5MPa~0.6MPa
AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz 
真空-67~-80 Kpa
載物臺XY手動吸附載物臺,有XY粗調(diào)/微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
重量(不包括顯微鏡)約360 kg約270 kg


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