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UVISEL 2 VUV UVISEL 2 VUV真空紫外橢偏儀

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 HORIBA(中國)
  • 品牌 HORIBA/堀場
  • 型號 UVISEL 2 VUV
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/1/23 17:31:03
  • 訪問次數(shù) 2068
產(chǎn)品標簽

真空紫外橢偏儀UVISEL 2 VUV

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HORIBA 成立至今已有 70 多年,是一家歷史悠久的跨國集團公司。總部位于日本,現(xiàn)已在全球 29 個國家設(shè)立 50 家分公司,構(gòu)建了覆蓋全球的開發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。在能源、環(huán)境、生物、醫(yī)療、先進材料與半導(dǎo)體等多個領(lǐng)域,HORIBA 為全球政府、高校及工業(yè)企業(yè)提供高精密的計量儀器和先進的檢測分析工具。業(yè)務(wù)范圍涵蓋發(fā)動機排放檢測、科學(xué)分析、環(huán)境監(jiān)測、半導(dǎo)體工藝過程控制、體外醫(yī)療診斷、生物技術(shù)及新能源發(fā)展與利用等。

多年來,HORIBA 順應(yīng)市場的不斷變化,堅持創(chuàng)新,為全球客戶提供具有高適配度、高附加值且性能卓越的產(chǎn)品與服務(wù),是科研、企業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)制造及質(zhì)量控制的優(yōu)選伙伴。



HORIBA歐洲總部

真空紫外橢偏儀專為VUV 測量設(shè)計,整個系統(tǒng)處于真空狀態(tài),無氧氣吸收。具備高度準確性;*的超快測量速度;快速樣品室抽真空能力,方便快速更換樣品;氮氣消耗量少。

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真空紫外橢偏儀產(chǎn)品特點

  • 50KHz 高頻PEM 相位調(diào)制技術(shù)

  • 45 秒內(nèi)完成充氮氣

  • 2 分鐘內(nèi)完成樣品室抽真空

  • 8 分鐘內(nèi)完成光譜全譜范圍內(nèi)測量

  • 兩種工作模式:氮氣清洗結(jié)合抽

  • 真空、連續(xù)氮氣清洗

  • 光譜范圍:147nm~850nm;147nm~2100nm

 

 

重點應(yīng)用領(lǐng)域

  • 超薄膜

  • 157nm 光刻新材料

  • 有機材料、高分子材料

  • 高k 材料:HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz

  • 抗反射涂層

  • 半導(dǎo)體和介電材料電子躍遷

  • MgF2、CaF2、LaF3

 

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