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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>物理特性分析儀器>試驗機>摩擦磨損試驗機> Bruker TriboLab CMP 化學(xué)機械拋光機

Bruker TriboLab CMP 化學(xué)機械拋光機

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 冠乾科技(上海)有限公司
  • 品牌 Bruker/布魯克
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/12/12 11:37:36
  • 訪問次數(shù) 2839
產(chǎn)品標(biāo)簽

拋光摩擦磨損機械拋光科研用

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冠乾科技Grant Technology 有限公司創(chuàng)立于中國上海。 公司為用戶提供先進可靠的設(shè)備及、

儀器技術(shù),為客戶把握工藝過程,得到優(yōu)質(zhì)的結(jié)果而服務(wù)。
Grant是“授予”的意思,希望公司能夠成為一個平臺,以用戶能夠得到上更新更快的技術(shù)資訊,技術(shù)方案為企業(yè)目標(biāo)。

冠乾科技追求品質(zhì)產(chǎn)品、專業(yè)的應(yīng)用和完善的售后服務(wù),我們是您可以信賴的合作伙伴。

工藝設(shè)備:真空鍍膜機;離子束刻蝕機,ICP刻蝕機,等

產(chǎn)品線豐富,元素分析:原子吸收,氣相色譜,液相色譜,氣質(zhì)聯(lián)用,紫外分光光度計等; 熱分析:材料表面分析:原子力顯微鏡,光學(xué)輪廓儀,摩擦磨損等;  通用分析:掃描電鏡,

實驗室儀器
原子吸收光譜儀
近紅外光譜儀
紫外分光光度計
電化學(xué)工作站
紅外光譜儀
鍍層測厚儀
數(shù)字顯微鏡
影像測量儀
Wafer 粗糙度檢測
3D 輪廓儀
超景深顯微鏡
TTV 測試
掃描探針顯微鏡
臺式掃描電鏡

其他儀器:
四探針測試
離子減薄機

 

原子力顯微鏡,摩擦磨損試驗機,超景深顯微鏡,鍍膜機

產(chǎn)地類別 進口


  • 產(chǎn)品品牌: 布魯克 Bruker

  • 產(chǎn)品產(chǎn)地: 德國

  • 應(yīng)用領(lǐng)域:

  • 產(chǎn)品簡介: 化學(xué)機械拋光研發(fā)規(guī)模的工藝研究和材料表征系統(tǒng)

TriboLab CMP 利用其前身產(chǎn)品 (Bruker CP-4) 超過 20 年的 CMP 領(lǐng)域?qū)I(yè)知識,為業(yè)界的 TriboLab 平臺帶來了一套完整的功能?;诒咎自O(shè)備產(chǎn)生的高精度和高可重復(fù)性使得在整個 CMP 流程中能夠進行高效的鑒別、檢查和連續(xù)功能測試。TriboLab CMP 是市場上能夠提供廣泛的拋光壓力 (0.05-50 psi)、速度(1 至 500 rpm)、摩擦、聲發(fā)射和表面溫度測量的工藝開發(fā)工具,可準(zhǔn)確、完整地描述 CMP 工藝和耗材。

一、亮點

1------小規(guī)模研發(fā)系統(tǒng)中的 ROI

此臺式工具可再現(xiàn)全尺寸晶圓拋光工藝條件,而無需在生產(chǎn)設(shè)備上停機。

2)靈活------參數(shù)控制

允許量身定制的測試,以加快材料開發(fā),并精確優(yōu)化流程。

3)專家------應(yīng)用和支持

我們與大型安裝基地合作多年,為您的實驗室提供專業(yè)知識。

二、特點

1特征------用于 CMP 的小型研發(fā)規(guī)模專業(yè)系統(tǒng)

布魯克的TriboLab CMP工藝和材料表征系統(tǒng)是專為晶圓拋光工藝而設(shè)計,是具有可靠、靈活和高效的臺式設(shè)備。

      * 重現(xiàn)全尺寸晶圓拋光工藝條件,無需在生產(chǎn)設(shè)備上停機;

      * 提供的測量可重復(fù)性和細節(jié)檢測;

      * 允許在小樣品上進行測試,比全晶圓測試節(jié)省大量成本。

2)板載診斷系統(tǒng)可以更好地了解拋光過程

     * 比市場上任何其他系統(tǒng)提供更多的瞬態(tài)拋光過程的參數(shù);

     從接觸拋光盤開始直至整個測試過程都能收集數(shù)據(jù);

     * 通過更完整、更詳細的數(shù)據(jù)實現(xiàn)早期流程開發(fā)決策。

3)具有靈活的樣品類型、尺寸和安裝配置

     * 拋光任何平面材料,幾乎能使用任何修正盤,任何拋光液,和任何拋光墊;

     輕松使用 100 mm 以下的小尺寸晶圓;

     * 可同時安裝多個樣品,測試更靈活。




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