產品詳情

MEMS VOC氣體傳感器利用MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料組成。當傳感器所處存在氣體環(huán)境中時，傳感器的電導率隨空氣中被檢測氣體的濃度而發(fā)生改變。該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。

檢測氣體種類

乙醇（C2H5OH）： 10– 500ppm

氫氣（H2)：1-1000ppm

甲醛（CH2O)：10-100ppm

傳感器特點

低功耗

高靈敏度

結構堅固

MEMS工藝

簡單的驅動電路

快速的響應恢復特性

主要應用

適用于室內空氣質量監(jiān)測 、手機電腦等消費類子產品應用檢測空氣質量也適用于呼出氣體檢 測儀、室內煙霧報警等。

技術指標

注：1. R₀ 是在環(huán)境溫度23±5℃，環(huán)境濕度50±10%RH的標準工作條件下測得；
2. S₅₀ 即Rs(50ppm C2H5OH)/R₀(in air)是在環(huán)境溫度23±5℃，環(huán)境濕度50±10%RH的條件下，傳感器在50ppm C2H5OH氣氛中的電阻值與傳感器在潔凈空氣中的電阻值的比值。