工作原理：

動態(tài)氣體校準(zhǔn)儀主要由質(zhì)量流量控制器、臭氧發(fā)生器、電源、管閥件、控制板及軟件組成

質(zhì)量流量控制器用于精確控制零氣和標(biāo)氣流量，零氣控制采用大流量控制器（10slpm），標(biāo)氣采用小流量控制器（100sccm）。氣體輸出后通過混合室進(jìn)行混合，達(dá)到所設(shè)定控制的濃度

內(nèi)置的臭氧發(fā)生器是由零氣經(jīng)紫外線照射而生成的，通過改變紫外線光強或零氣的流量來控制臭氧發(fā)生的濃度

功能特性：

技術(shù)成熟可靠

核心部件均為*

配比精度高，響應(yīng)時間段

模塊化設(shè)計

HMI觸摸屏，操作簡便

內(nèi)置MFC標(biāo)定校準(zhǔn)程序

技術(shù)特性：

質(zhì)量流量計準(zhǔn)確度：＜1%F.S

質(zhì)量流量計重復(fù)性：＜0.25%F.S

零氣流量：10sl/min

標(biāo)氣流量：100sml/min

標(biāo)氣入口：3通道

臭氧發(fā)生器輸出濃度：5ppm/1slpm

操作溫度：0-45攝氏度

zui大稀釋比：1000:1

響應(yīng)時間：60s

電源：220VAC@50Hz

尺寸：440mm（寬）*178mm（高*420mm（深）（參考）

標(biāo)準(zhǔn)配置：主機一套、電源線一根、說明書一份