實(shí)驗室光刻機(jī) 光柵光刻機(jī) 集成電路光刻機(jī) 光刻設(shè)備 光刻機(jī)器HWGK0133X-18紫外線光刻箱，配備電子電源，無級調(diào)光，主要用于光刻膠測試，中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和小批量生產(chǎn)測試。無紫外線泄露，可以保護(hù)人體不受紫外線傷害的UV光刻箱，自動旋轉(zhuǎn)托盤，多角度平行光照射，無照射盲區(qū)。
設(shè)備組成
UV光源+光刻箱+自動轉(zhuǎn)盤+電源控制器
采用模塊型設(shè)計
采用模塊型設(shè)計，可手持、固定、箱式使用。
UV燈頭
包含一個長壽命的高壓汞燈，發(fā)射出UVA（300-400nm），主光強(qiáng)度分布均勻。燈泡壽命為1000小時。
UV光刻箱
設(shè)備包含光刻箱，帶有箱門，開關(guān)方便，在元件的光刻過程中，能夠保護(hù)用戶免受紫外輻射。 
內(nèi)置遮光型手動快門（工作時無紫外線泄露）
設(shè)備集成可伸縮遮光型手動快門，確保光刻的優(yōu)良重復(fù)性，保護(hù)用戶開關(guān)光刻箱門時免受紫外輻射。
可調(diào)速自動旋轉(zhuǎn)托盤
設(shè)備集成可調(diào)速自動旋轉(zhuǎn)托盤，光刻效果更好,更*。
無級變光(光強(qiáng)可調(diào)）
燈管發(fā)光強(qiáng)度可以40%~100%，無級調(diào)節(jié)燈光強(qiáng)度，特別適合科研和工業(yè)生產(chǎn)。
反光內(nèi)壁
光刻箱內(nèi)有反光的內(nèi)壁結(jié)構(gòu)以及優(yōu)化設(shè)計的反光鏡，可保證達(dá)到均勻照射效果。
強(qiáng)制風(fēng)冷系統(tǒng)
光源、電源、光刻箱都集成冷卻風(fēng)扇，使得系統(tǒng)在散熱良好的環(huán)境工作，增加了系統(tǒng)可靠性。