產(chǎn)品型號

OTF-1200X-S-DVD小型坩堝移動管式爐

主要特點(diǎn)

1、一個高熱傳導(dǎo)性的氧化鋁樣品托盤固（50mmLx25mmW）定于K型熱電偶上,手動移動爐管外部磁鐵可推動熱偶和樣品盤在爐管內(nèi)移動，樣品材料蒸發(fā)或沉積。

2、一塊NIST認(rèn)證的精密溫度顯示儀表通過法蘭與熱偶連接，實(shí)時顯示樣品的溫度。

3、一個磁鐵嵌入到爐管內(nèi)部的管堵內(nèi)，另一個磁鐵位于爐管外部。移動外部磁鐵可使熱偶和樣品盤在爐管內(nèi)移動。

4、爐體可設(shè)置30段升降溫程序，其最高溫度為1200℃（位于爐體中心）

5、設(shè)備中包含一石英坩堝，可用于放置蒸發(fā)材料或放置沉積基片

6、通過CE認(rèn)證

技術(shù)參數(shù)

1、電源:208 - 240 VAC, 50/60Hz   最高功率：1.5KW

2、最高工作溫度:1200℃

3、連續(xù)工作溫度:1100℃

4、升溫速率:<= 20 ℃/min

5、加熱區(qū):1）加熱區(qū)長度：200mm(單溫區(qū)）

2）恒溫區(qū)長度: 60mm (溫度偏差+/-1°C，爐體燒至1000℃)

6、溫控系統(tǒng):30段升降溫曲線

            采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，帶有超溫和短偶保護(hù)

            控溫精度：+/- 1ºC

        S485 通訊接口

        可選:  爐體可通過PC（MTS02-Y）溫控軟件控制，可采用電腦設(shè)置和顯示溫度曲線

7、爐管:一根石英管（50mm O.D. x 44mm I.D. x 1000mm L）；4個氧化鋁管堵

8、真空法蘭:一對不銹鋼密封法蘭，進(jìn)氣口為Φ6.35卡套接頭，出氣口為KF25接口（與真空泵對接）

9、真空度:10^-2torr (機(jī)械泵)

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:   爐體關(guān)閉: 1055mm (L) × 300mm(W) × 400mm(H) 

爐體打開: 1055mm (L) × 300mm(W) × 560mm(H)  

凈重:22kg

質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

可選配件

1、 真空手動擋板

2、快速連接法蘭

3、多通道氣路系統(tǒng)，用于DVD或CVD實(shí)驗(yàn)

4、筆記本店（安裝Window10系統(tǒng)），可用電腦控制設(shè)備，Labview軟件溫度控制系統(tǒng)，用戶可編輯程序，記錄數(shù)據(jù)和繪制曲線

 一個無線控制器，控制范圍300m