ProX飛納臺式掃描電鏡電鏡能譜一體機(jī)是集成化成像分析系統(tǒng)。借助該系統(tǒng)，既可觀察樣品的表面形貌，又可分析其元素組分。

研究樣品時(shí)，得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊設(shè)計(jì)的能譜探測器，飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX可以完善解決上述所有問題。

能譜儀是一種基于樣品被電子束激發(fā)而產(chǎn)生 X 射線的分析儀器。Phenom 的能譜儀無論軟件、硬件都是*集成設(shè)計(jì)在飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX系統(tǒng)中。

Element Identification (EID) 軟件可以使用戶實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)分析，檢測樣品的元素組分。此外，該軟件還可以擴(kuò)展到元素分析線面掃（mapping）功能。分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導(dǎo)出分析數(shù)據(jù)。

Phenom ProX 電鏡能譜一體機(jī)具有飛納系列全自動(dòng)操作、15 秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、2-3 年更換燈絲等特點(diǎn)，無需防震環(huán)境，可放置在任意樓層，能譜無外接部件，無需液氮冷卻。

ProX飛納臺式掃描電鏡電鏡能譜一體機(jī)主要參數(shù)：

光學(xué)顯微鏡：放大20-135倍

電子顯微鏡：130,000倍

探測器：高靈敏度四分割背散射電子探測器

燈絲材料：1,500小時(shí)CeB6燈絲

分辨率：優(yōu)于14 nm

放置環(huán)境：采用專業(yè)防震設(shè)計(jì)，可擺放于普通實(shí)驗(yàn)室或辦公室、廠房

加速電壓：5kV-15kV連續(xù)可調(diào)

抽真空時(shí)間：小于15秒

探測元素范圍：B（5）- Am（95）號元素

能譜探測器：硅漂移探測器（SDD）

冷卻方式：無液氮 Peltier 效應(yīng)電制冷

能量分辨率：<137eV（MnKaα）

探測器晶體活性面積：25mm2

Phenom ProX電鏡能譜一體機(jī)可選配所有的樣品杯選件和所有的拓展功能軟件選件。