AC200程控伺服型精密勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級別200瓦伺服電機系統(tǒng)，采用與track設(shè)備相同設(shè)計和程序，使您的工藝更具有實際應(yīng)用意義；同類產(chǎn)品中的大達到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和*的可重復(fù)性。

兩種型號可選：AC200-SE（標準型）、AC200-PE（型）

特點：

內(nèi)部緊湊設(shè)計，縮小了設(shè)備的尺寸。

7寸觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。

“密閉碗”設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝。

標準配置轉(zhuǎn)速10000rpm，并可根據(jù)用戶需要進行定制。

采用工業(yè)級別伺服電機，電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。

機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，*生銹，便于清洗。

排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部 （以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。

透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

AC200程控伺服型精密勻膠機主要性能指標：

主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）

內(nèi)腔采用易清潔、耐腐蝕超高分子材料（HDPE）

旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒

轉(zhuǎn)動速度：0-10,000rpm（更高速可選）

旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 ：小于±1rpm（AC200-SE）；小于±0.1rpm（AC200-PE）

轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度及重復(fù)性： 1rpm（AC200-SE）;   0.1rpm（AC200-PE）

AC200-PE另帶真空數(shù)字顯示、開關(guān)壓力調(diào)節(jié)和電子水平顯示功能

工藝時間設(shè)定： 0-3,000sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec

支持尺寸：碎片至200mm（8”圓晶）

旋涂作業(yè)均勻性：小于; ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）

產(chǎn)品外型尺寸：433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設(shè)備結(jié)構(gòu)

306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結(jié)構(gòu)(適于嵌入式手套箱或工作臺內(nèi))